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新兴的纳米结构亚波长光学器件及其发展.pdf
第32卷增刊 光学技术 V01．32
Suppl．
200 OPTICAL
6年8月 TECHNIQUE 2006
August
文章编号：1002—1582(2006)S-0018—05
新兴的纳米结构亚波长光学器件及其发展‘
刘汉玉．王庆康
(上海交通大学微纳科学技术研究院微米／纳米加工技术国家重点实验室和
薄膜与微细技术教育部重点实验室，上海200030)
摘要：介绍了新颖的纳米结构亚波长光学器件的特点，从器件的基本功能特性和工作机理两个方面详细讨论了
其应用状况，并阐述了纳米制造技术对亚波长光学器件发展的重要推动作用及这一领域今后的研究热点。
关键词：亚波长光学器件；纳米制造；纳米结构
中图分类号：TN25 文献标识码：A
Novel elementsbasedon
subwavelengthoptical
nano．structureandtheir
development
Llu
Han-yu，v＼／ANGQing．kang
ofNano／Microfabrication and forthinfilmand
(Nationalkeylaboratory TechnologyKeylaboratory
of
microfabficationof Education，InstituteofMicroandNanoscienceand
Ministry technology，
ShanghaiJiaotong 200030，China)
University，Shanghai
of based
Abstract：Thisarticleintroducesthefeaturesnovel elementsOn
subwavelengthoptical
it discttssestheir fromthe ofbasicfunctionsandmechanisms the delivers
particularly applicationsaspects end，it
respectively．In
how
some nano-fabricationdriYes elementstO andwhatneedtobe inthefuture．
keys subwavelengthoptical develop improved
words：
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