第五章纳米机械学讲义.docVIP

5 纳米机械学 随着现代科学技术的发展，人们在不断追求机械装置的小型化、微型化，希望以尽可能小的能耗以及最少的物质使用来满足生物、医学、航天航空、数字通讯、传感技术、灵巧武器等领域日益增长的要求。20世纪60年代以来，微电子技术渗透到机械工程各个领域，机电一体化给机械装置的系统结构和性能方面都带来了革命化的改变，也大大地促进了机械装置微小型化的发展。特别是20世纪80年代中后期，有关机械及机电系统微型化技术的研究广泛兴起，形成了所谓微型机械或称微型机电系统(micro electro-mechanical system，MEMS)的研发热潮。美国、中国称微型机械微微型机电系统（MEMS），欧洲则称为微系统（micro systems），而在日本则往往将其叫做微机器（micro machine）。近来，将集成光学中的一次阿概念及研究成果也引入到微型系统中，又出现了微光机电系统（Micro-Opto Electro-Mechanical Systems，MOEMS）的概念。随着系统中关键不见尺寸的不断减小，整个系统的工作原理、设计理论及方法等都将发生很大的变化。目前，也将系统体中关键部件的特征尺寸为纳米尺度的微型机电系统称为纳机电系统（nano-electro mechanical systems，NEMS）。在上述这些系统发展的同时，作为研究微型机械工作原理和设计理论与方法的纳米机械学(nano mechanics)或称微机械学(micro mechanics)得到迅速发展并成为机械科学技术中的前沿领域。 §5.1 纳米机械学的范畴、组成和发展 一、从小型机械到微型机械 20世纪80年代开始的机械装置小型化过程中先后研制出两类机械，即小型机械(miniature machine)和微型机械(micro machine)。通常认为小型机械是传统机械简单地相似缩小，它在工作原理、结构材料和设计理论等方面大体上可以沿袭传统机械学。而微型机械则是在一种崭新的设计思想指导下，随着整个纳米科技发展而来的原理和构造特殊的机械装置。表l简略地说明了这两类机械的差异。 表l 小型机械与微型机械 小型机械 微型机械 尺度 从100μm至100mm 从1μm至1mm 材料 金属、高分子聚合物、陶瓷 硅、金属薄膜、高分子聚合物、陶瓷 构造 三维立体 多层的二维平面、三维立体 驱动 小型电机、压电晶体、SMA薄膜 静电电机、压电晶体、SMA薄膜、微驱动器 加工方法 超精密加工、电火花加工、激光加工、湿式腐蚀、离子束加工 腐蚀、表面显微加工 近年来，也有学者提出按照尺度将微小机械分为三类，即1mm至100mm为小型机械；10μm至lmm为微型机械；而l0nm至10μm为超微型机械(submicro machine)。 微机械学的发展经历了两个阶段。最初，人们按照传统机械学的原理和方法开发小型机械。然而，在研制过程中发现，随着机械结构尺寸的不断缩小，构件可受到的外载荷和体积力变得次要，而构件间的摩擦力和其它表面力成为影响机械性能的主要因素，因此，微型机械的力学系统特征与传统机械不同。此外，材料小型化以后的物理性质及其对环境变化的响应也将有很大变化。所有这些促使人们认识到传统机械学对于微型化机械设计已不适应，而必须从新的构思出发，借助于纳米科技开发出与传统机械的结构、材料、功能和原理不同的机械装置，这样，微机械学的发展进入了第二阶段，即建立纳米机械学研究的阶段。 二、微型机械的发展现状 美国是对微型机械进行研究最早的国家。斯坦福大学、麻省理工学院、加利福尼亚大学伯克利分校、犹他大学、威斯康辛大学等都投入了大量人力物力从事微型机械的研究，并取得了许多可喜的研究成果。其中，斯坦福大学于1965年接受斯坦福医学院的要求，开始利用硅片腐蚀方法制作脑电极阵列的探针，并取得成果。后来，又相继研制出直径20μm，长度150μm的铰链连杆机构，210μm×l00μm的滑块机构，转子直径100μm的静电马达（见图5-1）和流量为20ml/min的液体泵。加利福尼亚大学伯克利分校试制出直径60μm以及齿轮驱动的滑块和灵敏弹簧。威斯康辛大学制造出世界上最小金属齿轮，其直径只有l00μm。美国贝尔实验室也开发出直径400μm的齿轮机构。麻省理工学院研究出三自由度闭环平面机构操作器，可望应用于低力矩的精密定位。美国国会已把微型机械列为21世纪重点发展的学科之一。 图5-1 直径为100μm的微型马达 日本对微型机械的研究与开发给予了足够的重视，起步虽晚于美国，但进展相当快。1989年成立了微型机械研究会，集中了日本学术界和产业界的半导体、医疗器械和医学方面的研究人员进行开拓性的全面研究和开发。东京大学、名古屋大学、大阪府立大学、日本东北大学等单位都先后开