基于等效折射率人工剪裁的宽带高效光栅耦合器.pdfVIP

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2017-03-24 发布于四川
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基于等效折射率人工剪裁的宽带高效光栅耦合器.pdf

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基于等效折射率人工剪裁的宽带高效光栅耦合器

See discussions, stats, and author profiles for this publication at: /publication/267156315 Broadband High-efficiency Grating Coupler Based on the Tailored Artificial Equivalent Refractive Inde Article in Acta ptica Sinica · November 2014 D I: 10.3788/A S201434.1105001 CITATI NS READS 0 51 3 authors, including: Hua Wu () Xia Guo Gannan Normal University Beijing University of Technology 12 PUBLICATI NS 12 CITATI NS 53 PUBLICATI NS 321 CITATI NS SEE PR FILE SEE PR FILE All content following this page was uploaded by Hua Wu () on 22 ctober 2014. The user has requested enhancement of the downloaded file. 第卷第期光学学报，３４１１Ｖｏｌ．３４Ｎｏ．１１　　　　年月，２０１４１１犃犆犜犃犗犘犜犐犆犃犛犐犖犐犆犃犖狅狏犲犿犫犲狉２０１４基于等效折射率人工剪裁的宽带高效光栅耦合器，１２１１武华韩明夫郭霞　　　　１北京工业大学电子信息与控制工程学院光子器件研究实验室，北京１００１２４（２赣南师范学院物理与电子信息学院，江西赣州３４１０００）摘要利用不同占空比的亚波长结构剪裁光栅槽的等效折射率来改变光栅的衍射特性实现衍射输出光束与单模　光纤之间的模式匹配，通过优化埋氧化层厚度和集成底部金反射镜，可以改善光栅耦合器弱的方向性，从而设计出用于ＳＯＩ波导与光纤之间高效率耦合的光栅耦合器。采用本征模展开方法，模拟了光栅耦合器随剪裁的光栅槽等效折射率变化的相关特性，在ＳＯＩ波导和单模光纤之间对波长为１５５０ｎｍ的光获得了最高９３．１％的耦合效率，３ｄＢ带宽为８２ｎｍ。关键词光栅；等效折射率；光栅耦合器；耦合效率；模式匹配　中图分类号