f-(θ)物镜非线性扫描误差的检测研究.pdfVIP

第 31 ~ ~4期 光电工程 Vol.31 , No .4 2ω4 年4 月 。pto-Electronic Engineering Apr, 2仪)4 文章编号: 1 ∞3-501X (2∞4) 04刊阳9心4 f-θ物镜非线性扫描误差的检测研究 郑旭峰，倪旭翔，陆视康，二E iz:.强 (浙江大学现代光学仪~国家重点实验室，浙江杭州 31∞27 ) 摘要: -1监振锐和f吗8线性扫描物镜构成的线性扫描机构中， f-e物镜的设计、加工误j且会引起一 定的非线性扫描误豆豆，影响扫描成像的质量.为了检测f吨。物镜的非线性扫描谈差，使用基于线 阵 CCD 的检测也略和扫描光点位笠检测算法进行了实验研究，得到了可用于校正的扫描光点位 x以及抹镜摇角的对应关单曲线和f→e4?锐的非线性扫描误差曲线. 关键词:生物芯片扫描仪; f-e物镜;非线性扫描误_l;谈_l检测 咿阕份§监号:协~29 文献标识码: A Detection of nonIinear scanning error forf -theta pbjective ZHENG Xu-fen嚣， NI Xu.xi皿醒， LUZU-ka鸣，WANG LI-qlang ( State Key Laboratory ofM刷， lem Opticallnstruments. 刀lejiang Universi轨H刷Igzhou 31仅YJ..7. China) Abs甜aet: In a linear 阻anníng n田地:banism constituted by polarization filter 姐df-theta line缸阻割m泊g objective. thedesign and processing errors off-theta objective 明11 cau跚跚ne nonlinear 阴阳ming errors and will affect sc棚ning imaging quality. In order to measure nonlinear sc刷版ng error of the f-the阳 objective. an experimental study is carried out by using det时tion circuit 加sed on Ii时ar CCD and a 盹创ning spot posi且.on detection a1gorithm. In. this way 由e corresponding rela咀佣 curve be阳锵n scanníng spot 阳sition vs. polarization tilter tilt angle and nonlinear s臼n旧.ng error curve ofj- theta objective are ob凶阳d. and th崎e curves can be applied to calibrating nonlinear sc棚rung 脚。ι Key words: Biochipωanner ;f-theta 0均ective ;Nonlinear scanning error ;应rrorde~配tion 引畜 生物;芯片技术是近年来生命科学、微电子学、微机械、计算机、物想以及化学等多领饿、多学科交叉 的一门技术，是一种高效、大规模获取!t物信息的震要手段，它包括!t物芯片的制作和杂交信号的检测、 分析等相关技术。杂交信号的梭测和分析工作由生物芯片扫描仪来完成.!t物芯片扫描仪按类型主要分为 两种.激光共骤然生物芯片扫描仪和cω生物芯片扫描仪.前者的扫描分辨率较高.扫描速度锁慢;后者 扫描分辨率较低，扫描速度较快。目前扇内外市场上的激光共聚焦生物芯片扫描仪的扫描机理多是二飨机 械扫描，这种扫描方式具有扫描惯性大、扫描频事低、生物芯片扫描时间长等缺点·为了弥补这些缺点， 在激光共骤然生物芯片扫描仪的研究工作