用于风洞流速精确测控的微差压传感器设计.pdfVIP

空气动力测控技术五届四次测控学术交流会论文集 用于风洞流速精确测控的微差压传感器设计 尤彩红1王冰1王文襄1施洪昌2 (1昆山双桥传感器测控技术有限公司双桥传感器研究所，昆山周庄215325) (2中国空气动力研究与发展中心设备设计与测试技术研究所，四川绵阳622662) 摘要本文报告了用于风洞流速精密测控的高精度硅压阻微差压传感器的设计与制造．采用梁膜岛复合力敏结 构设计获得了低量程下的高输出灵敏度和优良的非线性性能．采用无掩模墒蚀形成应力匀散区及无应力制造与封装 技术确保了产品的高稳定与高可靠性． 关键词微差压MEMS梁膜岛复合结构无应力制造 J。●．‘．·●一 1． 刖菁 作为空气动力学实验研究的重要手段，风洞流速的精密测量与控制毫无疑问是十分重要的。一 次转换元件的皮托管和二次转换元件的高精度微差压传感器构成了标准的测试单元。通过皮托管得 到的总压和静压差值被送入微差压传感器转变为电信号，通过运算获得相应的流速。相应于空气动 力学研究的流速是有限的，对应的差压一般从数十帕斯卡至数干帕斯卡，因此被测量的是一个微差 压，故设计制作一个高精度的微差压传感器的任务就摆在我们面前。 压力传感器来说，达到如此微压下的高灵敏度并不很困难，但同时在高输出灵敏度下，仍有很精确 的转换精度，即非线性指标必须在O。1％FS以下数量级，即万分之几，是件不容易的事。 2． 设计 通常低压传感器采用周边固支的平膜片设计。量程要求越小，膜片的径向尺寸就越大，厚度就 越薄。然而此时膜片的挠度就越大，薄膜的大挠度带来了非线性迅速恶化的问题，即所谓气球效应。 因此在低微量程时，为了在获取高输出灵敏度时仍有较好的线性，必须采用特殊的带有应力集中的 特种膜片力学结构设计，以减小挠度，提高线性度。 采用中心带有一块硬心的单岛膜设计2，即俗称的E型膜片设计，可以将膜片量程降低至 10~20kPa而仍有较优良的线性度，采用中心带有两块硬芯的双岛膜结构设计可以将膜片量程降低至 5-10kPa而线性良好。力学上梁结构比膜有更优的灵敏度，因此将梁与膜组合的梁膜结构可以将膜 片量程降低至l—2kPa。为了进一步减小挠度，改善线性，可以进一步将梁膜岛结构结合起来，可 以将膜片量程减小的同时，有较优良的线性度。 风洞空气流速测控的微差压传感器要求有优良的非线性度。而且应用环境有相当的振动干扰， 因此我们采用了既能集中应力，又尽量减小其加速度灵敏度的特殊的梁、膜、双岛力学结构设计。 这一设计是在国家九五传感器攻关项目成果基础上的改进型设计。 卒气动力剥挖技术五届啊扶测挖学术受流会论文集 仄杠 b^^的剖面骂 陟等：] ～ 2 RIt的舒面弼 l浒攫驾 目1粱膜目复合力敏结构*¨}枣围 芯¨足典型的MEMS设计，硅体微机械加工]艺。一卷H单兀尺_为42X42inm，硅膜片的形成 0×3 采用先背面深刻蚀，后正面浅刻蚀的丁岂形成。膜片的屉太儿、】为3 0ram、岛区凡、』为12x 1 膜岛结构的分析和近似解析中发现3．巾问粱的妊度为两边粱长度的2倍时，器什的线性度较好，膜 区总宽度与岛K宽度之比为3．1时，器件的炙敏度较高。 取了较大的膜片尺叫设0f．是为，台理的膜片厚度控制，工艺r实践证明，当薄膜设计厚度控制在 101sm牟右时，工艺难度陡增，良品率下降，眚薄膜设计厚度捧制件209m左有时．丁艺难度锐减， 纵向麻变对的检测惠斯顿屯桥秤麻变片低J蚯变工作点时有里优的线性度。但当应力工作点延仲 加大时，则线性迅速恶化。为r在一副光刻版设计下涵盖更多的可调整量程，我们采用丁横向应变 对设计，叫应娈片横对年麻力方向。返种=1年前南恩德弗扣『公司发现的设H的优点是，[作脚力 水甲较通常提高34倍时仍柏较好线性。 两个岛区即使和粱区同厚度也可以有效集I}一威力于窄粱r，但当低微量程时粱膜的厚度较薄时， 宽岛区的较大挠度也会影响非线性．因此在此宽岛区背面做肯岛就是为，减小