JP2008-168374A2008.7.pdfVIP

(57)【要約】 【課題】固定砥粒式ワイヤ工具のワイヤ表面に任意のパ ターンで硬質堆積層を形成することができて、繰り返し 使用による切断能率の低下を抑えるとともに工具寿命を 延ばすことができ、且つ、加工に手間がかからず、容易 に生産性を上げることができるようにする。 【解決手段】加工槽１の加工液中でワイヤＷを長手方向 に走行させつつ電極４を順次切換えて周囲からワイヤＷ を放電加工し、ワイヤ表面の各電極Ｗに対向する位置に 順次チタンカーバイド等の硬質材を堆積させることによ 10 り、ワイヤ表面に螺旋状その他の任意のパターンで局所 的にチタンカーバイド等の硬質材の堆積層を形成する。 【選択図】図１ (2) 【特許請求の範囲】 【請求項１】 固定砥粒式ワイヤ工具であって、ワイヤ表面に放電加工により硬質材が堆積してなる局所 的な堆積層が形成されていることを特徴とするワイヤ工具。 【請求項２】 前記堆積層が螺旋状に形成されている請求項１記載のワイヤ工具。 【請求項３】 固定砥粒式ワイヤ工具の製造方法であって、硬質材となる粉末材料を混入した加工液中で ワイヤを放電加工し、ワイヤ表面の電極に対向する位置に硬質材を堆積させることにより 、ワイヤ表面に局所的に硬質材の堆積層を形成することを特徴とするワイヤ工具の製造方 10 法。 【請求項４】 固定砥粒式ワイヤ工具の製造方法であって、ワイヤの周囲複数方向に電極を配置し、硬質 材となる粉末材料を混入した加工液中でワイヤを長手方向に走行させつつ電極を順次切換 えて周囲からワイヤを放電加工し、ワイヤ表面の各電極に対向する位置に順次硬質材を堆 積させることにより、所定のパターンで硬質材の堆積層を形成することを特徴とするワイ ヤ工具の製造方法。 【請求項５】 チタン粉末を混入した油液中で放電加工し、ワイヤ表面にチタンカーバイドを堆積させ、 チタンカーバイド堆積層を形成する請求項３または４記載のワイヤ工具の製造方法。 20 【請求項６】 固定砥粒式ワイヤ工具のワイヤ表面に放電堆積加工により局所的に堆積層を形成するワイ ヤ工具の放電加工装置であって、硬質材となる粉末材料を混入した加工液を溜める加工漕 と、前記加工液中でワイヤを長手方向に走行させるワイヤ送り機構と、前記加工液中で走 行するワイヤの周囲複数方向に位置する電極と、前記加工液中で走行するワイヤを順次周 方向に位置を変えて放電加工するよう前記電極を順次切換える電極切換え機構と、該電極 切換え機構を介して各電極に放電電流を供給するとともにワイヤに給電する放電回路と、 各電極をワイヤに対し進退自在とする電極送り機構と、各電極をワイヤ走行方向に対し略 平行あるいは斜めに揺動させる電極揺動機構とを備えることを特徴とするワイヤ工具の放 電加工装置。 30 【請求項７】 前記電極が薄板電極である請求項６記載のワイヤ工具の放電加工装置。 【請求項８】 前記電極は前記加工液中の走行するワイヤの周囲４方向に配置されている請求項６記載の ワイヤ工具の放電加工装置。 【発明の詳細な説明】 【技術分野】 【０００１】 　本発明は、固定砥粒式ワイヤ工具に関する 【背景技術】 40 【０００２】 　シリコンウエハをインゴットから切り出すスライシング加工等の硬質脆性材料の切断加 工に用いられる加工法には、固定砥粒式と遊離砥粒式とがあり、特に、固定砥粒式の砥粒 加工法は、例えば固定砥粒式の内周刃ブレードソーを用いるもので、切断能率が高く、ス ラリーによる環境汚染等の問題が少ないことから広く用いられている。また、例えばシリ コンインゴットのスライシング加工では、加工速度を上げるとともに切り代を少なくする ため、細いピアノ線等のワイヤ表面に電着によりダイヤモンド砥粒を付着させたワイヤ工 具（ダイヤモンド電着ワイヤ工具）を使用するワイヤソーを用いることが提案された。し かし、こうしたダイヤモンド電着ワイヤ工具は、通常はワイヤ表面の全面に砥粒層が形成 されたもの