捷佳创PD-380A管式PECVD保养作业指导书解剖.doc

捷佳创管式PECVD 保养作业指导书 文件类别： 工作标准/生产设备管理 文件初始编制者/日期： 叶石标/2011.03.27 文件修订者/日期： 叶石标/2012.03.03 文件审批记录： 部门/职位 姓名 文件修改履历： 版本号 Rev 更改内容/描述 Description of Changes 发布日期 Release date 目的与范围 1.1本文件用以确保捷佳创管式PECVD处于良好的运行状态。 1.2本文件适用于捷佳创管式PECVD，所有捷佳创管式PECVD 保养操作人员。 规范性引用 无 职责 3.1 设备部设备维护人员负责确保产品保质保量的完成。同时确保人员的安全，设备的安全，产品的安全。 3.2 生产部设备操作人员负责并执行点检及日常维护保养工作。发现问题及时报告，不得自己擅自拆解设备，以免造成更加严重的后果。 4 术语和定义 无 5 管理内容与方法 5.1注意事项 5.1.1触摸屏面板不要被硬物碰撞。 5.1.2急停按钮是当进、出舟过程中出现意外时，手动暂停步进电机转动用的，在正常工艺时，请注意保持该按钮不要按下。 5.2保养内容 5.2.1本设备保养分为季保和年保。具体保养内容如下表： 项目 保养内容 季保 年保 1 清洁石英管内碎片 √ √ √ 2 电极杆检查 √ √ 3 推拉舟、机械臂检查 √ √ √ 4 检查SIH4,N2，NH3压力 √ √ √ 5 炉门处气管检查 炉门动作机构 √ √ √ 6 蝶阀清理 √ √ 7 炉管恒温区温度校准 √ 8 检查炉体炉丝、电极、热电偶 √ 9 清洁水冷却器、功率和控制电子部件 √ 5.2.2保养时效 月保：每个月±5天 季保：每3个月±8天 年保：每年±1个月 5.2.3工作时间 月保：8小时 季保：12小时 年保：72小时 5.2.4工作人员 月保：2人（1位助理工程师，1位操作员） 季保：2人（1位负责工程师，1位操作员） 年保：3人（2位负责工程师，1位操作员） 5.3 PM操作规程 设备PM操作员要严格按照操作规程来操作，避免操作失误而损坏设备。 5.3.1清洁石英管内碎片 5.3.1.1工具：碎片耙子，无尘纸 5.3.1.2防护用品：PVC手套 高温手套 5.3.1.3注意事项： a、在使用碎片耙子的时候要带高温手套，防止被烫伤。 b、清洁石英管内碎片时动作要轻缓，防止碰坏石英腔体。 5.3.1.4作业步骤 a、首先带好高温手套，打开炉门； b、将碎片耙子伸进腔体，对碎片进行清洁； c、清洁完毕之后，用无尘纸擦拭炉门密封圈； d、关上炉门，检漏； 5.3.2电极叉检查： 5.3.2.1工具：探照灯，内六角扳手，活动扳手，润滑油，无尘纸 5.3.2.2防护用品：PVC手套 5.3.2.3注意事项：无 5.3.2.4作业步骤 图1 电极叉及四氟套 a、首先将一个空舟手动进舟到停止； b、打开探照灯从腔体后面的观察窗观察电极叉能否顺利叉入空舟电极，若偏差较大则需要调整电极叉位置； c、关闭AE电源开关，拆下电极后面的四氟套子以及射频线； d、旋松电极叉螺母，对电极叉位置进行微调，直至电极叉能对准空舟电极； e、紧固电极叉螺母，手动操作放舟过程，使电极叉嵌入空舟电极； f、若电极叉变形严重，则更换电极叉； g、手动取舟，关上炉门检漏； h、装上射频线以及四氟套子，打开AE电源开关，观察AE电源设定功率是否为工艺要求功率； 5.3.3推拉舟检查 5.3.3.1工具：内六角扳手，活动扳手，探照灯，卷尺 5.3.3.2防护用品：PVC手套 5.3.3.3注意事项：无 5.3.3.4作业步骤： 图2 推拉舟 a、放一个空舟在桨上，用卷尺测量桨前后位置离底部平台高度是否一致，若不一致，可使用内六角扳手调整桨尾部螺母； b、手动进退舟，观察桨位置有无左右偏移。若偏移，则使用内六角扳手调整桨尾部螺母； c、检查各螺母有无松动，若有，则紧固； d、轻压前后限位极限位开关，如果出现极限位报警，则极限位开关工作正常；若无报警，则检查极限位开关线路与信号及开关性能； 图3 下限位开关 e、用无尘纸擦除导轨脏物，用润滑油润滑导轨并擦除多余润滑油； f、观察桨上下运动，左右运动时是否连续；若不连续，则润滑导轨或者更换滑块； 5.3.4蝶阀清理 5.3.4.1工具：内六角扳手，VCR垫片，无尘布，酒精 5.3.4.2防护用品：PVC手套