薄膜电阻器件的低频噪声测试方法研究.pdfVIP

-a3-靠性与质量控制 薄膜电阻器件的低频噪声测试方法研究 吴引11 庄奕琪‘11 杜磊‘21 魏文彦‘3] (【11西安电了科技大学微电了学院， 西安710071； 121西安电子科技大学技术物理学院， 西安710071； 【31中国航天时代电了公司第771研究所，西安710054) 摘要：薄膜电阻器件的低频有色噪声是器件内部微观结构影响的缩影，承载了大量的与器件 结构和工艺水平相关的信息，往往能够反映器件的内在质量和可靠性的优劣。本文给出了薄膜电 阻器件低频噪声测试的一般方法并探讨了样品在低阻和裸片情况下进行低频噪声信号测试应采用 的技巧和注意事项，还讨论了探针接触噪声对测试结果的影响，对正确的噪声信号采集和器件可 靠性评估有重要意义。 关键宇：薄膜电阻 低频噪声 噪声测量 阻抗匹配 可靠性 ofLow NoiseMeasurementMethodsfor InvestigationFrequency ’ Film Thin Resistor Wu【1] Lei[2】Wei Yong ZhuangYiqi[1】Du Wenyan[3】 (LllSchoolofMicroelectronic 710071： ofXidianUniversity，Xi’an ofXidian l翔SchoolofTechnical 710071： Physics University，Xi’an Research TimesElectronics Institute，Xi’an710054) 3|ChinaAerospace Corp．NO．771 Abstract：Lownoiseofthin·-filmresistoristhe ofeffectonmicro--structurein frequency epitome takes dealofinformationassociatewithtechnicslevelandwithwhichweCallestimate device，itgreat the and too．Thelow noisemeasurementmethodsandskills qualityreliability frequency especially in low—resistancedeviceandbarethin·film arediscusseddetail． chip‘s words：Thin—filmresistorLow noiseNoisemeasurement Key f