包15显微荧光测试系统-河南省政府采购网.docVIP

包1 1.电极喷镀系统 技术参数：（*为必须满足参数） *1、无需掩模板，电脑绘制图形后可直接喷镀； *2、无损沉积，不会对材料或衬底造成影响； *3、喷镀间距可低至10 μm(无最高上限)、线宽可低至20 μm，分辨率2.2 μm，可有效替代基于光刻+刻蚀的传统半导体工艺； 4、图形喷涂面积小于180 mm*180 mm，单视场面积5.7 mm*4.3 mm，最大视场面积19 mm*14 mm； 5、LED同轴光源； 6、最大速度250 mm/s； 7、采用交流同步伺服和精密滚珠丝杠进行控制； 8、采用USB连接，支持Win XP，Win 7，Win 8等系统； 9、采用上位机软件设计图形，可视化窗口观察与测量； *10、适用于各种厚/薄膜材料、低维材料、块体材料以及硅衬底、陶瓷衬底等。 2.CS多通道电化学工作站 技术参数： *1、测量通道：16个； 2、通讯方式：串行通讯； *3、通道切换时间：50ms，通道绝缘电阻：100M(； *4、电位控制精度：0.1%×满量程读数±1mV，电流控制精度：0.1%×满量程读数，电位灵敏度：10(V(100Hz), 3(V(10Hz)，电流灵敏度：10pA； 5、电位上升时间：﹤1(S(10mA),10(S(2A)，电流量程：2A～200nA, 共8档； 6、参比电极输入阻抗：1012(||20pF，最大输出电流