薄膜概述题稿.ppt

薄膜基底 Leading Physical Property Analysis of Thin-Film Materials 专注 激情 严谨 勤勉 科研用各种基底 薄膜基底 Leading Physical Property Analysis of Thin-Film Materials 专注 激情 严谨 勤勉 科研用各种薄膜 Leading Physical Property Analysis of Thin-Film Materials 专注 激情 严谨 勤勉 目 录 薄膜材料定义 薄膜的制备 薄膜材料性质 薄膜物性检测 薄膜材料性质 Leading Physical Property Analysis of Thin-Film Materials 专注 激情 严谨 勤勉 薄膜材料的表征 薄膜材料的表征 结构 物性 组份 电子结构 光学性质 电学性质 力、热、磁、生物等性质 晶体结构 薄膜力学性质 Leading Physical Property Analysis of Thin-Film Materials 专注 激情 严谨 勤勉 由于薄膜材料的不同，各种薄膜(如金属膜、介质膜、半导体膜等)都有各自不同的性质。但力学性质则是各类薄膜都应具有的性质。 薄膜的力学性质中包括有附着性质、应力性质、张力性质、弹性性质和机械强度等。根据专业教学的要求，在本节中我们仅讨论附着性质和应力性质。 薄膜附着力 Leading Physical Property Analysis of Thin-Film Materials 专注 激情 严谨 勤勉 (a) 平界面 ( b) 形成化合物的界面 (c)合金的扩散界面 (d) 机械咬合界面 测量附着力的方法有很多种。常用的方法有划痕法、拉张法和剥离法等。 薄膜材料定义 Leading Physical Property Analysis of Thin-Film Materials 专注 激情 严谨 勤勉 附着力与膜厚的关系 薄膜附着力 Leading Physical Property Analysis of Thin-Film Materials 专注 激情 严谨 勤勉 附着力与基体温度的关系 (在薄膜沉积之后再用烘箱加热) 薄膜应力 Leading Physical Property Analysis of Thin-Film Materials 专注 激情 严谨 勤勉 应力的定义、产生原因 应力：在材料内部单位面积上的作用力称为 应力，用?表示。 外应力：如果这种应力是由于薄膜受外力作 用引起的则称为外应力； 内应力：如果应力是由薄膜本身原因引起的 则称为内应力。 它们的单位通常采用Pa或者N/m2表示。 薄膜内应力 Leading Physical Property Analysis of Thin-Film Materials 专注 激情 严谨 勤勉 结构应力：晶格失配（长度，角度）引起的应力；生长过程产生的内部缺陷； 热应力：由于衬底与薄膜材料之间线膨胀系数的差别，在薄膜制备以后温度变化时在薄膜与衬底中产生的应力。 薄膜内应力会导致：薄膜卷曲，膜层断裂，导致失效 薄膜内应力 Leading Physical Property Analysis of Thin-Film Materials 专注 激情 严谨 勤勉 薄膜内应力的测量方法，大致可分为两种：即测量晶格畸变和测量基体变形。 在测量晶格畸变时均采用x射线衍射法。 在测量基体变形时采用圆形基体或短条形基体。 在采用圆形基体时，因受薄膜的应力作用整个基体都均匀地变形。如果开始时基体是平面状，然后变成碗状并可看作球面的一部分，则测量球面曲率再计算出应力。这时可用牛顿环法、光截面显微镜法和触针法进行观察测量。 在采用短条形基体时，将基体一端因薄膜内应力作用产生的变位作为测量对象，其测量方法有直视法、光杠杆法、单缝衍射法、干涉计法、电微天平法和电容量法等。 薄膜内应力 Leading Physical Property Analysis of Thin-Film Materials 专注 激情 严谨 勤勉 (1)热收缩效应 (2)相转移效应 (3)空位的消除 (4)表面张力(表面能)和表面层 (5)表面张力和晶粒间界弛豫 (6)界面失配 (7)杂质效应 (8)原子、离子埋入效应 薄膜内应力的成因 薄膜内应力 Leading Physical Property Analysis