无尘室的设计细则.pptVIP

2009.09.11 * 無塵室设计規範 资料整理：金田净化 顯示器實務 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile . Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. * 無塵室之定義與應用： 1. 無塵室之簡介 利用不發塵建材、阻塵設施、空調設備與空間設計，將室內空間作溫度、濕度、氣體流、氣壓及微塵粒子之控制，而達到特殊應用需求之作業或研究場所，稱之為無塵室或清淨室(Clean Room) 無塵室除了在IC半導體、光電與TFT-LCD等高科技產業應用之外，生醫科技、食品加工業、精緻農業與航太產業也需利用清淨室場所以達到品管之要求，唯所需之無塵室等級不同。 基因實驗室 食品加工業 醫療衛生 生物科技 精緻農業 國家太空中心 友達TFT-LCD廠 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile . Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. * 無塵室之規格 1. 無塵室之簡介 潔淨室依等級之不同，對一定空間內的微塵粒子最大容許量有一共通規範，在國際標準中最常用的規範有Fed-Std-209E及ISO-14644，以Fed-Std-209E的等級規範定義為例： Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile . Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. * 無塵室之規格 1. 無塵室之簡介 NDL/class 10 CIS/class 100 繼開科技/class 10000 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile . Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. * 無塵室之種類 1. 無塵室之簡介 無塵室依等級的不同而在氣流設計上會有所區別，一般可分為垂直層流方式(Class 1~100)、水平層流方式(Class 1~1,000)、亂流方式(Class 1,000~100,000)，其詳細區分如下表： Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile . Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. * 無塵室之種類 1. 無塵室之簡介 Air flow system Item Air flow system Construction cost Running cost Flexibility Down flow High High Easy Cross flow ????????????????????????????????????????????????????????????????? Middle Middle Difficult Mixed flow ????????????????????????????????????????????????????????????????? Middle Middle Middle Conventional flow ????????????????????????????????????????????????????????????????? Low Low Easy Tunnel clean ????????????????????????????????????????????????????????????????? Middle Low Difficult 　 清淨度 生產時清淨度 設備費 運轉費 生產配置變更 增設 垂直層流方式 1~100 作業者的影響少 高 高 容易 困難 水平層流方式 100 上流的發塵對下 流有影響 中 中 困難 困難 非層流方式 1,000~100,000 作業者的影響大 低 低 容易 比較容易 遂道方式 1~100 作業者的影響最少 中 中 困難 比較容易 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile . Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. * 無塵室之種類 1. 無塵室之簡介 Conventional (hard wall) Soft wall Modu