电子显微镜原理.ppt

電子顯微鏡原理 班級:微電三甲 學生:4973a057黃昭穎 4973a058蘇暐倫 指導老師:方信普 目錄 電子顯微鏡原理 電子顯微鏡的種類 穿透式電子顯微鏡的原理 穿透式電子顯微鏡成像原理 掃描式電子顯微鏡的原理 掃描式電子顯微鏡的成像原理 電子顯微鏡原理 電子顯微鏡系統由電子槍 (electron gun) 發射電子束，經過一 組磁透鏡 (condenser lens) 聚焦後，用遮蔽孔徑(condenser aperture)選擇電子束的尺寸 (beam size)，通過控制電子束的掃 描線圈，再透過物鏡 (objective lens) 聚焦打在試片表面，激 發出電子訊號。 電子顯微鏡的種類 (1)掃描式電子顯微鏡(SEM) 有很大的景深，對粗糙的表面，例如凹凸不平的金屬斷面顯示得 很清楚，而且立體感很強。 電子顯微鏡的種類 (2)穿透式電子顯微鏡(TEM) 穿透式電子顯微鏡將欲觀察的試片放在電子槍內，使觀察的解析 度比掃描式高，但因為電子束須穿透試片，所以所需的加速電壓 相對比掃描式電子顯微鏡來的高。 穿透式電子顯微鏡的原理 穿透式電子顯微鏡的原理有點像一個幻燈片投影機。 投影機利用光線照射幻燈片，幻燈片上的圖案只容許 部分光線通過。於是透射的光線便複製了幻燈片上的 圖案，投影至屏幕。 穿透式電子顯微鏡成像原理 穿透式電子顯