表面分析技术：第四章扫描探针显微镜讲解.ppt

第四章 扫描探针显微分析 扫描隧道显微镜STM 原子力显微镜AFM 扫描探针显微镜SPM scanning tunneling Microscopy (STM，1982) Atomic force microscopy (AFM) Lateral Force Microscopy (LFM) Magnetic Force Microscopy (MFM) Electrostatic Force Microscopy (EFM) Chemical Force Microscopy (CFM) Near Field Scanning Optical Microscopy (NSOM) 扫描探针显微镜（SPM）是用来探测表面性质的仪器。 代表是扫描隧道显微镜和原子力显微镜。 材料制造尺寸已由微米、次微米，逐渐发展至纳米级精密处理，高分辨表面分析技术为重要关键技术之一。 扫描探针显微术(SPM)具有原子级表面形状分辨率，并可检测多种纳米级表面特性如力学特性、电性、磁性、热性等等。 优点为仪器体积小，样品无需特殊处理，可在任何环境下进行测量；缺点为缺乏成份分析功能。 SPM Head—the most important part Working concepts 常用显微分析方法 扫描探针显微镜（SPM）与其他显微镜技术的分辨本领范围比较 扫描探针显微镜的应用 呈现原子或分子的表面特性 用于研究物质的动力学过程 检测材料的性能 通过显微镜探针可以操纵和移动单个原子或分子 微米纳米结构表征，粗糙度，摩擦力，高度分布，自相关评估，软性材料的弹性和硬度测试 高分辨定量结构分析以及掺杂浓度的分布等各种材料特性 4.1 扫描隧道显微镜（STM） （Scanning Tunneling Microscope） 概述 STM的工作原理 STM仪器 STM的应用 4.1-1 概述 STM的发明 1981年，IBM苏黎世实验室的葛·宾尼（G.Binnig）博士和海·罗雷尔（H. Rohrer）博士研制成世界第一台纳米级表面分析仪器—扫描隧道显微镜。 它使人类第一次能够实时地观察单个原子在物质表面的排列状态和与表面电子行为有关的物理、化学性质，具有重大的科学意义和广阔的应用前景，被国际科学界公认为八十年代世界十大科技成就之一，认为STM的发明开始了纳米科技的新时代。1986年宾尼和罗雷尔被授予诺贝尔物理学奖． STM所具有的独特优点 （l）具有原子级的高分辨率。STM在平行和垂直样品表面方向的分辨率分别可达0.1nm和0.01nm，即可以分辨出单个原子。 （2）可实时地得到在实空间中表面的准三维图象，可用于具有周期性或不具备周期性的表面结构研究。 （3）可以观察单个原子层的局部表面结构，而不是体相或整个表面的平均性质。 STM所具有的独特优点（II） （4）可在真空、大气、常温等不同环境下工作，甚至可将样品浸在水和其它溶液中，不需要特别的制样技术，且探测过程对样品无损伤。 （5）配合扫描隧道谱可以得到有关表面电子结构的信息，例如表面不同层次的态密度、表面电子阱、电荷密度波、表面势垒的变化和能隙结构等。 （6）在纳米镊子帮助下可实现原子的操纵和加工，所以被认为开始了纳米科技的新时代。 4.1-2 STM的工作原理 STM的基本原理是利用量子隧道效应. 以极细探针和被研究物质的表面作为两个电极，当样品与针尖的距离非常接近时（通常小于1nm），在外加电场的作用下，电子会穿过两个电极之间的势垒流向另一电极。这种现象即是隧穿效应。 隧道电流I是电子波函数重叠的量度，与针尖和样品之间距离S和平均功函数?有关： I?Vbexp（-A?1/2S）， 其中Vb是针尖和样品间的偏置电压，平均功函数? ? 1/2（?1＋?2），?1和?2分别为针尖和样品的功函数，A为常数（约等于1）。 扫描隧道电子显镜利用扫描探针技术，可以直接观察到物质表面的原子结构。 STM的结构与工作过程 扫描模式示意图 STM的重要器件1——压电陶瓷 当在压电陶瓷对称的两个端面加上电压时，压电陶瓷会按特定的方向伸长或缩短。而伸长或缩短的尺寸与所加的电压的大小呈线形关系。 通过改变电压来控制压电陶瓷的微小伸缩。 把三个分别代表X，Y，Z方向的压电陶瓷块组成三角架的形状。通过控制X，Y方向伸缩达到驱动探针在样品表面扫描的目的；通过控制 Z 方向压电陶瓷的伸缩达到控制探针与样品之间距离的目的。 重要器件2------扫描用探针 STM探针的最尖端是非常尖锐的，通常只有一两个原子。因为只有原子级锐度的针尖才能得到原子级分辨率的图象。 扫描探针一般采用直径小于lmm的导电钨丝、铂一铱丝等； 通常采用电化学