LC諧振式振动传感器的设计与实现.docxVIP

目 录 LC谐振式振动传感器设计及实现 摘 要 本文在对各种硅微加速度传感器特点进行比较的基础上，选择了差分电容式硅微加速度传感器作为研究对象。在对其工作原理和相关制作工艺进行了阐述和研究之后，设计出了一种对称的“四梁－质量块”结构的差分电容式微加速度传感器。 本文介绍了利用 LC 互感谐振原理来实现加速度信号的无线传输。用ANSYS有限元软件对加速度计的结构建立仿真模型。根据建立的差分电容式微加速度传感器的力学模型，利用有限元方法对其进行了静力学和动力学分析。最后，结合现有 MEMS 工艺，给出了差分电容式硅微加速度传感器的结构尺寸、工艺流程。 关键词：MEMS，电容式加速度传感器，有限元分析，LC互感谐振传感器 LC resonant vibration sensor design and realization Abstract In the dissertation, series types of micro-Si acceleration sensors were compared and the differential capacitive one was chosen to be studied. After its principle and　　　　　　fabrication process related were expounded, a symmetric “four cantilever beams-mass” structure was designed, which is characterized by better linearity and sensitivity compared with the traditional deformable-membrane sensor. Besides,it introduces the mutual inductance using LC resonance principle to achieve the wireless transmission of acceleration signal. Model of the accelerometer structure was established by ANSYS finite element software.After the mechanics model of the differential capacitive acceleration sensor was made, finite element method was used to simulate its behavior, both static and dynamic.Finally, based on the MEMS technology presented, the structural dimension, fabricating process were introduced. Keywords: MEMS, the capacitance acceleration sensor, finite element analysis, LC mutual inductance resonant sensor 1　绪言 1 1.1　课题研究的背景及意义 1 1.2　国内外研究现状 1 1.3　本设计主要研究的内容 2 2　LC谐振式振动传感器的设计 3 2.1　传感器整体设计思路 3 2.1.1　电容式传感器的常见检测电路 3 2.1.2　加速度信号传输的实现 4 2.1.3　振动信号远距离传输的实现 4 2.2　微机械加速度计的模型 6 2.2.1　微机械加速度计的力学模型 6 2.2.2　微机械加速度计的数学模型 7 2.3　微机械电容式加速度计与电容改变方式的原理 7 2.3.1　微机械电容式加速度计的工作原理 7 2.3.2　电容的改变方式与工作原理 8 2.4 　LC 谐振式振动传感器设计 10 2.4.1　芯片材料的选择 10 2.4.2　电感的设计 11 2.4.3　电容的设计 12 2.4.4　悬臂梁结构设计 13 3　LC谐振式振动传感器的理论分析与计算 15 3.1　传感器的有限元建模与分析 15 3.2 　“四梁－质量块”的静力学分析 15 3.3　 “四梁－质量块”模态分析 16 3.4 　“二梁－质量块”的静力学分析 18 3.5 　“二梁－质量块”的模态分析 19 4　LC谐振式振动传感器的工艺流程 20 4.1　加工所需关键工艺 20 4.1.1　光刻 21 4.1.2　薄膜淀积 21 4.1.3　离子注入 22 4.1.4　腐蚀 22 4.1.5　静电键合技术 22 4.1.