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第三章 薄晶体衍衬原理与分析 目录 §3.1 衍衬成像原理 §3.1.1 质量厚度衬度 §3.1.2 衍射衬度成像 §3.2 衍衬成像的运动学理论 §3.2.1 运动学理论的一般讨论 §3.2.2 理想晶体的衍射强度 §3.2.3 非理想晶体的衍射衬度 §3.1 衍衬成像原理 本节重点 质量厚度衬度、衍射衬度的定义。 明场像、暗场像以及中心暗场像的定义 §3.2 衍衬成像的运动学理论 运动学理论：电子束进入样品时随着深度的增加，在不考虑吸收的条件下，透射束不断减弱而衍射束不断加强。不考虑衍射束和透射束之间的相互作用 运动学理论的基本假设 （1）双光束近似：除了透射束外只有一束衍射束，即I0＝IT +Ig=1，同时由于不处于精确的衍射条件（即存在一个偏离矢量s），衍射束的强度远比透射束弱。不考虑透射束和衍射束之间的相互作用。 §3.2.2 理想晶体的衍射强度 结论：理想晶体的衍射强度Ig 随样品的厚度t 和衍射晶面与精确的布拉格位向之间偏离参量s而变化。 消光距离 双光束条件：即当晶体的(hkl)晶面处于精确的布拉格位向时，入射束只被激发成为透射束和(hkl)晶面的衍射束的情况。 入射电子受原子强烈的散射作用，因而在晶体内透射波和衍射波之间必然存在相互作用，从而使得图像上电子的强度出现变化。 双光束条件下 消光：是指尽管满足衍射条件，但由于动力学互补作用而在晶体内一定深度处衍射波（或透射波）的强度实际为零。 消光距离（ξg）：使I0 和Ig在晶体深度方向上发生周期性的振荡的深度周期。 等厚条纹 当衍射晶面偏离量S 保持恒定，则衍射强度为： 等厚条纹的应用：因为同一条纹上晶体的厚度是相同的，通过计算偏离矢量s 以及条纹数目来估算薄晶体的厚度。 倾斜晶界可利用等厚条纹原理来分析。 本节重点 运动学理论基本假设 消光距离、等厚条纹、等倾条纹 §3.2.3 非理想晶体的衍射衬度 平行于薄膜表面的层错 在一般情况下，衍射图像存在层错的区域与无层错区域出现不同的亮度，即构成了衬度。层错区显示为均匀的亮区或暗区。当层错的深度是消光距离的整数倍时，将不显示衬度。 层错与等厚条纹的区别 层错衬度图象上的条纹线一定是笔直的，内外侧条纹都非常清晰； 等厚条纹不一定是直线，而且相应于薄边一侧颜色较深且比较清晰，伸向内部较厚一侧，则逐渐变淡以至模糊消失。 另外层错区域的选区电子衍射花样有层错的衍射斑点。等厚条纹区域不可能产生附加的电子衍射斑点。 孪晶的形态不同于层错，孪晶是由黑白衬度相间宽度不等的平行条带构成，相同的衬度条带为同一位向，而另一条带为相对称的位向。层错是等间距的条纹。 （2） 位错 位错并不是几何意义上的线，而是在位错线附近有应变区，使晶体发生微区畸变，在一定方位下体现衍射衬度。 位错线像的特点：位错线总是出现在它实际位置的一侧或另一侧，说明其衬度本质上是由位错附近的点阵畸变所产生的，又叫“应变场衬度”。 位错柏格斯矢量的测定 区分位错线和等倾条纹的方法：倾动试样时，位错衬度只在原地变化，或隐或现或弱，而不会移动位置；等倾条纹随着各处位向连续变化，在荧光屏上可观察到其迅速扫动 （3）第二相粒子 第二相衬度包括： ? 应变衬度 ? 第二相本身的位向衬度 ? 结构因子差别导致的衬度 本节重点 层错衬度与等厚条纹以及孪晶的区别 如果确定位错的柏格斯矢量？ 倾斜于薄膜表面的层错 与其它的倾斜界面（如晶界等）相似，显示为平行于层错与上下表面交线的亮暗相间的条纹。 S S 孪晶 F-层错; L-孪晶界 F L 孪晶与层错的区别 孪晶界与普通晶界的区别：孪晶界是结晶学平面，且孪晶界两侧晶体为镜面对称，所以其晶界条纹是笔直的，且条纹两侧晶体衬度往往相反，而一般晶界却无此特征 20-N-Cr-700℃×10h扩散层内γN孪晶TEM形貌 b b 螺位错 刃位错 滑移面 左侧 s ≠ 0 右侧 s ≈ 0 晶体中存在一个刃型位错⊥ 其左侧不符合布拉格条件而 右侧符合。 这样位错右侧产生强的布拉 格衍射，而左侧衍射没有或 者很弱，这样在位错两侧的 衬度将显示出差别。 如左图所示，在衍衬像中 位错像位于真实位错位置 的右侧。 衍衬像中缺陷是否可见的判据是缺陷引起的附加 相位因子 a = 2πg ? R = N(2π) 这里g 是操作反射矢量； R 是缺陷引起的位移 当 g ? R = 0 R在反射平面内，即使有点阵位移，对振幅ψg也没有 贡献，看不出衬度。作为缺陷是否可见的判据。 对一般缺陷来说，R是位置的函数；对一定类型的层错 来说， R是一个常数，即层