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第1章节新型传感器综述1
二、新型敏感材料 10-11学年第二学期 新型传感器 按形态分有掺杂、微粉、薄膜、块状、纤维等; 按功能可分为力敏、压敏、光敏、色敏、声敏、磁敏、气敏、湿敏等。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 半导体敏感材料 10-11学年第二学期 新型传感器 半导体敏感材料可以将多种非电量转换为电量,无论是光、声、热、磁、气、湿等都可以利用相应的半导体材料进行传感。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 中原工学院 靳莹瑞 新型传感器 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 第一章 新型传感器综述 新型传感效应 1 新型敏感材料 2 新加工工艺 3 新型传感器的发展方向 4 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 一、新型传感效应 按引起传感效应的物理量类型来区分,新 型传感效应分为: 光效应 磁效应 力效应 化学效应 生物效应 化学效应 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 光效应 光电效应: (1)光电导效应 (2)光伏效应 电光效应: (1)科顿(Cotton)效应 (2)光弹效应 光的多普勒效应 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 1. 光电导效应 新型传感器 光辐射作用使材料的电导率发生变化,而这种变化与光辐射强度呈稳定的对应关系。称为光电导效应。 典型器件:光敏电阻(GeAs) Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 光电导效应 光电导材料有本征型 和掺杂型 两种类型。 新型传感器 本征型光电导材料只有当入射光子能量hv等于或大于半导材料的禁带宽度Eg时才激发一个电子空穴对,在外电场作用下形成光电流。 掺杂型光电导材料只要入射光子能量hv等于或大于杂质电离能ΔE时就能把施主能级上的电子激发到导带而形成导电电子,在外电场作用下形成电流。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 光电导效应 光电导器件的光电流与入射光通量之间存在着一定的关系,称为光电特性。 E 为入射光的光照度; 为光敏电阻的光导; 为光电导灵敏度。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 光电导效应 12-13学年第二学期 新型传感器 典型器件光敏电阻(GeAs),具有与人眼十分相近的光谱响应特征。在可见光亮度测量中广泛采用光敏电阻,例如照相机自动曝光系统中的亮度测量等。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 2. P-N结光伏效应 12-
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