第三章光谱分析-SEM分解.ppt

镀膜材料的选择：Au、C、Ag、Cr、Pt等 熔点较低、易蒸发 与常用的钨丝加热器不发生任何作用 二次电子、背散射电子发射效率高 化学性能稳定 镀膜厚度 导电膜应均匀、连续，厚度200-300? 不能太薄，否则导电膜显著不均、易破裂，甚至部分表面未蒸镀上导电膜 不能太厚，否则导电膜易产生龟裂，掩盖试样表面结构细节 先蒸发一层很薄的炭，然后再蒸镀金属层可以获得比较好的效果。 6、试样的制备 非金属材料试样制备 生物医学材料试样制备 6、试样的制备 生物样品制备的一般原则： 防止样品污染、损伤，保持原有形貌、微细结构 去除样品内的水分-避免样品体积变小、表面收缩 增加样品的导电性能 注意辨认和保护观察面 3. 扫描电镜衬度像 二次电子像 背散射电子像 衬度：明暗程度 二次电子像 4、扫描电镜图像和衬度 表面形貌衬度 利用对样品表面形貌变化敏感的物理信号作为调节信号得到的一种象衬度。 二次电子像分辨率比较高，适用于显示形貌衬度。 注　意 　　在扫描电镜中，二次电子检测器一般是装在入射电子束轴线垂直的方向上 二次电子产生区域大小取决于辐照电子束的直径以及电离化区域的大小。 二次电子像衬度取决于样品表面的电子束入射角、样品和检测器的几何位置以及成分分布。 4、扫描电镜图像和衬度 二次电子像 4、扫描电镜图像和衬度 二次电子像 4、扫描电镜图像和衬度 二次电子像 二次电子像 背散射电