第10章光柵傳感器.ppt

光栅传感器 光栅传感器——利用光栅的莫尔条纹现 象实现几何量测量（线位移和角位移）的 装置称为光栅传感器。 光栅传感器的优点： 高精度、高分辨率和大动态范围，且具有较强的抗干扰能力。因而广泛应用于静态测量、动态测量和自动化等领域。 一、光栅基础知识 （一）、光栅分类及结构 1、光栅分类 按其原理和用途可分为物理光栅和计量光栅。 按其透射形式可分为透射式光栅和反射式光栅。 按光栅表面结构不同，可分为幅值光栅（又叫黑 白光栅）和相位光栅（又叫闪耀光栅）。 按光栅应用分类，可分为长光栅和圆光栅。 目前发展了激光全息光栅和偏振光栅等新型光栅 2、光栅的结构 所谓光栅，简单地说，由大量等宽等间距的平行狭缝所组成的光学器件称为光栅。 圆光栅有三种形式：一种是径向光，其栅线的延长线通过圆心；第二种是切线光栅，其栅线的延长线与光栅盘中的一个小同心圆相切；第三种是环形光栅，其栅线为一簇等间距同心圆。 （二）莫尔条纹原理与特点 莫尔条纹的特点： （1）调整夹角即可得到很大的莫尔条纹的宽度，起到了放大作用，又提高了测量精度； （2）莫尔条纹的光强度变化近似正弦变化，便于将电信号做进一步细分，即采用“倍频技术”，这样可疑提高测量精度； （3）光电元件对于光栅刻线的误差起到了平均作用。刻线的局部误差和周期误差对于精度没有直接的影响。因此可得到比光栅本身的刻线精度高的测量精度。这是用光栅测量和普通标尺测量的主要差别。 二、光栅传感器的工作原理 （一）光栅传感器的结构 光栅传感器由照明系统、光栅副和光电接收元件组成。光栅副是光栅传感器的主要组成部分，由主光栅（标尺光栅）和指示光栅组成。当标尺光栅相对于指示光栅移动时，形成的莫尔条纹产生明暗交替的变化，利用光电接收器件将莫尔条纹亮暗交替的光信号，转换成电脉冲信号并用数字显示，从而测量出标尺光栅的移动距离。 光栅副：指示光栅+主光栅 （二）光电转换原理 光栅传感器的光电转换系统结构： 1、光源，2、聚光镜，3、主光栅（又称标尺光栅），4、指示光栅，5光敏元件，如图4（a）所示。 （二） 莫尔条纹测量位移原理 当光电元件5接收到明暗相间的正弦信号时，根据光电转换原理将光信号转换为电信号。当主光栅移动一个栅距W时，电信号则变化一个周期。 当波形重复到原来的相位和幅值时，相当于光栅移动了一个栅距W，如果光栅相对位移了N个栅距，此时位移x=NW。 （三） 辨向原理 如图5所示。当莫尔条纹移动时，两个条纹的亮度变化规律完全一样，相位相差π/2。滞后还是超前完全取决于光栅的移动方向，这种区别运动方向的方法称为位置细分辨向原理。 三、莫尔条纹细分技术 （一）细分方法： 1、增加光栅刻度密度。 2、对电信号进行电子细分。把一个周期变化的莫尔条纹信号再细分，即增大一周期的脉冲数，称为倍频法。在电子细分中又可分为直接细分、电桥细分、示波管细分和锁相细分等。 3、机械和光学细分。 （二）直接细分 （三） 电位器桥细分 为了得到较高的细分数，将直接细分得到的四个相位差为π/2的正弦交流信号UmSinφ、UmCosφ、-UmSinφ、-UmCosφ（φ=2πX/ω）输入到电位器桥，电位器桥常用于进行12～60（为4 的整倍数）细分，如图7所示。 四、 光栅传感器的误差 单件光栅的误差是由刻划工艺和刻划设备决定的。计量光栅大多数是在构成莫尔要纹的情况下使用。由于莫尔条纹的平均误差作用，使局部刻划误差的影响大大减小。 长光栅栅距误差一般为微米（μm）数量级，圆光栅为秒（”）角数量级。 五、常用光学系统（一）常用的光学系统 1、透射直读式光路 一般的透射式光路如图9（a）所示。光源1发射的光经准直透镜2变成平行光束，垂直投射到主光栅3上，它和指示光栅4形成的莫尔条纹信号直接由光电元件5接收。 2、反射直读式光路 如图11所示。光源6经聚光镜5成平行光束以一定的角度通过场镜3射向指示光栅2，莫尔条纹是由主光栅1反射回来的光线与指示光栅2作用形成的，经反射镜4反射后由物镜7成象被硅光电池8接收。 （二） 分光式光学系统 光源1发出的光经聚光镜2变成平行光投射到光栅副3、4上，经衍射后在无限远处形成莫尔条纹。用聚光镜6将与光轴平行的某r级组的衍射式光聚集于放在焦面处的光电元件8上，用光阑7挡住会聚于光轴两侧的其它级组的衍射光。光阑7有一条窄缝，其方向平行地横向莫尔条纹的方向，用以在光栅面上截取一条光缝，限制光电元件接收视场面的大小，使之在主光栅移过一个栅距时，会聚于光电元件8上的光强亮暗变化一次，从而能够接收互莫尔条纹信号实现测量。 图13 为四分透镜分光式电路。