第4章-电容式传感器讲述.ppt

4章 电容式传感器 概述 电容式传感器是实现非电量到电容量转化的一类传感器。 可以应用于位移、振动、角度、加速度等参数的测量中。 由于电容式传感器结构简单、体积小、分辨率高，且可非接触测量，因此很有应用前景。 电容式液位计 棒状电极（金属管）外面包裹聚四氟乙烯套管，当被测液体的液面上升时，引起棒状电极与导电液体之间的电容变大。 智能化液位传感器的设定方法十分简单： 用手指压住设定按钮，当液位达到设定值时，放开按钮，智能仪器就记住该设定。正常使用时，当水位高于该点后，即可发出报警信号和控制信号。 4-1 电容式传感器的工作原理 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器，如果不考虑边缘效应，其电容量为： 式中： ε——电容极板间介质的介电常数， ，其中ε0为真空介电常数，εr为极板间介质相对介电常数； A——两平行板所覆盖的面积； ε0 =8.854×10-12 F/m d——两平行板之间的距离。 对于空气介质，εr ≈1 保持其中两个参数不变，而仅改变其中一个参数，就可把该参数的变化转换为电容量的变化，通过测量电路就可转换为电量输出。 在实际使用时，电容式传感器常以改变平行板间距d来进行测量，因为这样获得的测量灵敏度高于改变其他参数的电容传感器的灵敏度。 改变平行板间距d的传感器可以测量微米数量级的位移，而改变面积A的传感器只适用于测量厘米数量级的位移。 1. 变极距型电容传感器 下图为变极距型电容式传感器的原理图。当传感器的εr和A为常数，初始极距为d时，其初始电容量 为： ◆还可以看出，在d0较小时，对于同样的 Δd变化所引起的ΔC可以增大，从而使传感器灵敏度提高。但d0过小，容易引起电容器击穿或短路。 为防止击穿或短路，极板间可采用高介电常数的材料（云母、塑料膜等）作介质。云母片的相对介电常数是空气的7倍，其击穿电压不小于1000 kV/mm，而空气的仅为3kV/mm。因此有了云母片，极板间起始距离可大大减小。同时传感器的输出特性的线性度得到改善。 一般变极距型电容式传感器的起始电容在20～ 30 pF之间，极板间距离在25～200μm的范围内，最大位移应小于间距的1/10，故在微位移测量中应用最广。 2 . 变面积型电容式传感器 上图是变面积型电容传感器原理结构示意图。被测量通过动极板移动引起两极板有效覆盖面积S改变，从而改变电容量。 当动极板相对于定极板延长度a方向平移Δx时，可得： 式中 为初始电容。电容相对变化量为 很明显，这种形式的传感器其电容量C与水平位移Δx是线性关系，因而其量程不受线性范围的限制，适合于测量较大的直线位移和角位移。它的灵敏度为： 下图是电容式角位移传感器原理图。当动极板有一个角位移θ时，与定极板间的有效覆盖面积就改变，从而改变了两极板间的电容量。 当θ=0时，则 式中： εr ——介质相对介电常数； d0 ——两极板间距离； A0 ——两极板间初始覆盖面积。 当θ≠0时，则 从上式可以看出，传感器的电容量C与角位移θ呈线性关系。 3 电容式传感器的测量电路 电容式传感器中电容值以及电容变化值都十分微小，这样微小的电容量还不能直接被目前的显示仪表显示，也很难被记录仪接受，不便于传输。 必须借助测量电路检出这一微小电容增量，并将其转换成与其成单值函数关系的电压、电流或者频率。 电容转换电路有电桥式电路、调频电路、运算放大器式电路、二极管双T型交流电桥、脉冲宽度调制电路等。 1 ）调频测量电路 3 电容式传感器的测量电路 图中调频振荡器的振荡频率为 式中： L0——振荡回路的电感； C ——振荡回路的总电容， 。其中，C1为振荡回路固有电容；C2为传感器引线分布电容；而 为传感器的电容。 4.4 电容式传感器的测量电路 当被测信号为0时，ΔC =0，则 ，所以振荡器有一个固有频率 ： 当被测信号不为0时，ΔC≠0，振荡器频率有相应变化，此时频率为： 基本工作原理 举例 图为电感-电容电桥。 4 电容式传感器的应用 电容式传感器由于结构简单，可以不用有机材料和磁性材料构成，所以它可以在温度变化大、有各种辐射等恶劣环境下工作。 电容式传感器可以制成非接触式测量器，响应时间短，适合于在线和动态测量。 电容式传感器