涡 轮 形 干 式 真 空 泵.pdfVIP

涡 轮 形 干 式 真 空 泵 真 赖 正弘 开：部 一郎 忙同 隆司 L田 新欢郎 一 、 前 言 近年来各个公司开始销售干式真空泵。但是，这些泵全都是罗茨形或螺旋形的容积式真 空泵 通常我们认为粗抽真空泵 中，气体从大气压蓟10 Pa的压力区显示{}i!i滞流性质，可将 其看作普通的压缩机。在lO Pa以下，气体显示从中间流到分子流性质的压力区，是分子阻 尼泵和溺轮分子泵等非容积形真空泵的有效区域。涡轮压缩机与容积形压缩机相比较，容易 实现高速，小形，大容量的要求。利用这一特性，在部分粘滞流压力区使用涡轮形 (非容积 形)泵的元件制成了全涡轮形泵。即是正要加以说明的涡轮形干式泵。这种泵具有高速转动 机构和非接触叶轮结构，体积小，能获得 10 Pa的较低极艰压强。目前主要应用于半导体 制造设备的低压C V D装置 中和干刻蚀装置的排气系统中。 I 。 { i二 、 泵 的结 构 靛轮形干式泵的构造如图 1所示 泵为纵轴式，上部为泵，下部是由高频马达组成的驱 动部件。旋转轴由油润滑的球轴承支承，泵和驱动部件采用特殊的非接触形轴密封结构进行 _ 完全密封。 性 一 图 1 涡轮 干式真 空幕的结构 维普资讯 泵采用二种泵结构。在进口一侧用的大口径的泵为离心泵结构，如后所述在粘滞流中能 起到离心压缩机的作用，在分子流中起到分子阻尼泵的作用。排气口一侧的小口径泵为圆周 流泵结构，在粘滞流中是能够获得高压缩比的泵结构。 三、泵的元件 离心泵 (图 2)是由开口的螺旋槽式叶轮和有开口的螺旋槽式返回导向叶片的定子组合 丽成。就叶片形状而言，叶轮和定子都是如图2 (b)的形状·叶轮是反向叶片， 定子是转 动方向内向流动的叶片。这种离心结构在泵起动时的牿 滞 流状 态压缩比低，但是可以起到 排气速馥较大的压缩机的作用。在稳定运转时的分子流状态叶轮和正面定子表面 的相 互作 用，定于和相对叶轮里面 (平面)的相互作用，起到了分子阻尼泵的作用，产生 高 压 缩 比 (图 3)。 毋幻址 - b．叶片母 因2 离 幂元件 囤3 离· 甄的性能 但是，如前所述粘滞流状态压缩比低，所 以采用离心泵 结 构若要补偿从大气压抽到高真空的压缩比，则应增加泵的 级数，我们认为实踊上有些困难。圆周流泵元件 图 4)与一 般泵和增压器等所用的元件是同种类型。 这 种 泵抽气效率 低，但是压力系数高，并且真空泵频繁起动，停止运转时压 力系数最高。 如图 5所示，将采用了圆周流泵元件柏性能与时轮 以圊 一 圆周速度运转的离心泵元件进行比较。园周流泵从大气压 · 6 ’ 囤 4 园罔流 泵元件 圈 维普资讯 到1 0 Pa的宽压力范围内比离心泵的压缩比高，当压力降低气体的性质脱离牯滞滤状态时压 缩 比下降 蒸f 2 图 5 团周流 幕的性 能 一 方面离心泵随着压力的降低在分子阻尼起作用之后压缩比才增高，达到某一压力范围 比园周流泵的压缩比还要高。可以说在这一压力附近是泵结构进行转换的压力标准。 园周流泵还有许多不清楚的地方，根据叶片和流道形状压缩 比也有大的变化，但是就真 空泵而言，泵的级数也增加了，最基本的形状如图4的筒图。 图 6表示在由离心泵和园周流泵组合而成的涡轮干式真空泵中泵 的各级压力分布的计算 图例。泵 由10级构成，吸气 口一侧的 2级为离心泵，余下的 8级为园周流泵。甩园周流泵， 压力按照等比级数下降到lO Pa之后，再用2级离心象元件获得10。Pa极限压强。 图 6 涡轮 形干式真空暴内的压力分析 四、涡轮形干式真空泵的技术规格和性能 涡轮形干式真空泵的主要规格如表 1所示 · 7 ‘ 维普资讯 患 1 涡 轮 开{干 式 泵 技 术 规 格 按照泵的容量分为三个机种，全部采用T31ooo rpm 的高速运转，并尽力使其小形化。 采用涡轮形可 以实现单轴结构，通过精确地平衡实现低噪声和微振动。不用泵壳离开泵 l米 处的噪声测定值约为72 d B。 图 7表示该系列泵的排气特性，在分子流领域具有最大排气速度。这一特性可 以通过改 变构成泵的各级元件进行改变。图 8表示在进行泵的极限压强特性试验时，通过差动排气法 挑选出泵吸气口的残余气体成分，用质量分析计进行分析的结果。从中投有发现质量超过44 的常用气体成分的峰值。当油分子返流污染真空系统时，可 以明确判定出现许多质量超过44 的峰值。很显然用干式真空泵可以获得干净的真空。 -囊? 盂卉(P‘) 图 7 涡轮开j干式真 空泵 的排 气特性 · B · 一 — — — — — 1 维普资讯 五、涡轮形真空泵的可靠性 泵的机械可靠性能够在IF‘内试验确认。涡轮形干式真空泵也进行了种种严格的试验。 但是，在