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测试技术—— 参数式传感器及其应用 第四章 内容 1. 传感器概念 2. 电阻式传感器 3. 电容式传感器 4. 电感式传感器 基本概念 传感器：一种能把特定的信息（物理、化 学、生物）按一定规律转换成某种可用信 号输出的器件和装置。 1、传感器概念1 基本概念 信息检测的不可缺少的首要环节，它的直接影响测试系统的 整体测试精度 工程实际中俗称测量头、检测器等，也称为一次仪表 传感器 Transducer/Sensor/probe 1、传感器概念1 基本概念 国家标准（GB7665—87）对传感器定义: 感受规定的被测量并按一定的规律转换成可用输出信号的器 件或装置 ? 一个指定的传感器，只能感受规定的物理量 电量、非电量 ? 传感器的输出信号中载有被测量信息，且能远距离传送 电信号、光信号、气动信号 ? 输入输出关系服从一定规律，可以复现——公认、标准 1、传感器概念1 组成 感受规定的被测量并按一定的规律转换成可用输出信 号的器件或装置 敏感元件 转换元件 转换电路 被测量 电量 敏感元件 ? 直接感受被测量 ? 转换为有确定关系的易 变成电量的其它量 转换元件 ? 将其它物理量直接转 换为有确定关系的电 量的元件 便于远传、接收的信号 4～20mA、±5V 服从一定的可复现的规律 V＝f（p）、Q＝f（p） R＝f（σ） L＝f（x） 规定的物理量 ?压力 ?应变 ?振动、位移 1、传感器概念1 ? 敏感元件 力、转矩 应变 ? 转换元件 应变 电阻 ? 转换电路 电阻 电压 基本特性 测试系统的一个基本单元，具有： 静态特性 测量范围、灵敏度、精度等 动态特性 带宽 频响曲线 特性曲线 灵敏度： 输 出 电 压 V 1、传感器概念1 分类 ? 用途/输入量:适合于用户 △机械量：位移、力、速度、加速度、振动 △热工量：温度、压力、流量、流速 △光学量：光强、光通量、辐射能 ? 能量关系 △能量转换型/有源型：热电偶、光电池、压电式、惯性式 △能量控制型：获取的信息能量来控制、调制外部激励 涡流、R、L、C参数型 1、传感器概念1 分类 ? 输出量性质：适合于研发 △电参数型/参数式：R、L、C →工程参数 电参数 →基本类型:电阻、电感和电容式 →无源传感器：本身没有内在的能量转换 △电量型/发电式：电压、电流、电荷 →工程参数 电信号 →基本类型:压电式、磁电式、光电式、霍尔式以及热电式 →有源传感器：本身就有内在的能量转换 1、传感器概念1 定义：将非电量变化转换为电阻变化的传感器 测量的物理量 ? 应变——应变片 ? 热——热敏电阻 ? 位移/距离——电位器 转换元件 ? 电阻R 转换电路 ? 直流电桥 2、电阻式传感器2 V E R1 R2 R3 R4 电阻R 应变片式传感器 工作原理：应变效应 应变片的电阻： l——长度 A——截面、半径r ρ——电阻率 微应变 材料在轴向受力的作用，产生机械变形/结构变形——微应变 lR A ρ= A l dR d dl dA R l A ρ ρ = + ? 2、电阻式传感器2 应变片式传感器 工作原理 微应变 ? 结构尺寸变化 应变单位：με（1με=1x10-6m/m） ν材料的泊松比 2( ) 2 2 t r t d l l dA A dr r v ε ε ε = = = = ? —材料的轴向线应变 A l ρ ρε dv R dR t ++= )21( 2、电阻式传感器2 应变片式传感器 工作原理 ? 电阻率变化 △ 金属材料 ν材料的泊松比 C常数 △ 半导体材料 л半导体材料在受力方向压阻系数 E半导体材料的弹性模量 t d Eρ π ε ρ = A l(1 2 ) t d Cρ ν ε ρ = ? d ρ ρ ? → ? ? 半导体 金属 2、电阻式传感器2 应变片式传感器 工作原理 金属材料 一般ν≈0.3，C≈1，因此金属材料的电阻应变效应主要来自结 构尺寸的变化——尺寸效应，且灵敏系数较小，约为2.0左右。 半导体材料 лE(1+ν)，因此半导体材料的电阻变化主要来自压阻效应， 灵敏系数较大，约为50～200，且分散性大。 tmt SCR dR R R εενν =?++=≈Δ )]21()21[( tt SER dR R R εεπν ρ=++=≈ Δ ])21[( 2、电阻式传感器2 应变片式传感器 应变片技术参数 类 型 金属应变片 半导体应变片 测量范围με 0.1～50000 0.001～3000 灵敏系数 1.8～4.5 50～200 标称阻值Ω 120，350， 600，…，5000 1000～5000 电阻受温度影响 温度系数是正值 温度系数是负值， 0.15%/0C 电阻容差 0.1%～0.35% 1%～2% 有效