第4章传感器原理综述.ppt

第4章 电感式传感器 ;定义：是一种利用线圈自感和互感的变化实现非电量电测的装置。 感测量：位移、振动、压力、应变、流量、比重等。 种类：根据转换原理，分自感式和互感式两种； 根据结构型式，分气隙型、面积型和螺管型。 优点： ①结构简单、可靠，测量力小 衔铁为0.5～200×10-5N时，磁吸力为(1~10)×10-5N。 ②分辨力高 机械位移：0.1μm，甚至更小；角位移：0.1角秒。 输出信号强，电压灵敏度可达数百mV/mm 。 ③重复性好，线性度优良 在几十μm到数百mm的位移范围内，输出特性的线性度较好，且比较稳定。 不足：存在交流零位信号，不宜于高频动态测量。 ;4.1 变磁阻式传感器;图4 – 1 变磁阻式传感器 ;根据对电感的定义，线圈中电感量可由下式确定： ; 对于变隙式传感器， 因为气隙很小，所以可以认为气隙中的磁场是均匀的。 若忽略磁路磁损， 则磁路总磁阻为 ;通常气隙磁阻远大于铁芯和衔铁的磁阻， 即 ; 上式表明，当线圈匝数为常数时，电感L仅仅是磁路中磁阻Rm的函数，改变δ或S0均可导致电感变化，因此变磁阻式传感器又可分为变气隙厚度δ的传感器和变气隙面积S0的传感器。 目前使用最广泛的是变气隙厚度式电感传感器。  ;4.1.2 输出特性 由式（4-6）可知L与δ之间是非线性关系， 特性曲线如图4-2所示。设电感传感器初始气隙为δ0，初始电感量为L0，衔铁位移引起的气隙变化量为Δδ， 当衔铁处于初始位置时，初始电感量为 ;图4-2 变隙式电压传感器的L-δ特性;当Δδ/δ01时，可将上式用台劳级数展开成如下的级数形式： ;同理，当衔铁随被测体的初始位置向下移动Δδ时，有 ;灵敏度为 ;图4-3 差动变隙式电感传感器;差动变气隙式自感传感器结构由两个电气参数和磁路完全相同的线圈组成。当衔铁3移动时，一个线圈的自感增加，另一个线圈的自感减少，形成差动形式。如将这两个差动线圈;①差动式自感传感器的灵敏度比单线圈传感器提高一倍 ②差动式自感传感器非线性失真小,如当Δlδ/lδ=10％时 (略去l／lδ·μr), 单线圈δ＜10％；而差动式的δ＜1％。;电感式接近传感器（金属）;教学用低成本四线制无二次???表传感器;4.1.3 测量电路 电感式传感器的测量电路有交流电桥式、 变压器式交流电桥以及谐振式等。  1. 电感式传感器的等效电路 从电路角度看，电感式传感器的线圈并非是纯电感，该电感由有功分量和无功分量两部分组成。有功分量包括：线圈线绕电阻和涡流损耗电阻及磁滞损耗电阻，这些都可折合成为有功电阻，其总电阻可用R来表示；无功分量包含：线圈的自感L, 绕线间分布电容，为简便起见可视为集中参数，用C来表示。 于是可得到电感式传感器的等效电路如图4-4所示。 ;图4-4 电感式传感器的等效电路; 图4-4中，L为线圈的自感，R为折合有功电阻的总电阻，C为并联寄生电容。 上图的等效线圈阻抗为 ;当Qω2LC且Ω2lc1时，上式可近似为 ; 2. 交流电桥式测量电路 图4-5为交流电桥测量电路，把传感器的两个线圈作为电桥的两个桥臂Z1和Z2，另外两个相邻的桥臂用纯电阻R代替。设Z1=Z+ΔZ1, Z2=Z-ΔZ2，Z是衔铁在中间位置时单个线圈的复阻抗， ΔZ1, ΔZ2分别是衔铁偏离中心位置时两线圈阻抗的变化量。对于高Q值的差动式电感传感器， 有ΔZ1+ΔZ2≈jω(ΔL1+ΔL2)， 则电桥输出电压为 ;图4-5 交流电桥测量电路 ; 当衔铁往上移动Δδ时，两个线圈的电感变化量ΔL1、ΔL2分别由式（4-10）及式（4-12）表示， 差动传感器电感的总变化量ΔL=ΔL1+ΔL2, 具体表达式为 ;灵敏度K0为 ;将 代入式（4-20）得; 3. 变压器式交流电桥 变压器式交流电桥测量电路如图4-6所示，电桥两臂Z1、Z2为传感器线圈阻抗，另外两桥臂为交流变压器次级线圈的1/2阻抗。 当负载阻抗为无穷大时， 桥路输出电压 ;图4-6 变压器式交流电桥;当传感器衔铁上移时，如Z1=Z+ΔZ，Z2=Z-ΔZ时， ; 4. 谐振式测量电路 谐振式测量电路有谐振式调幅电路(如图4-7所示)和谐振式调频电路(如图4 - 8所示)。在调幅电路中， 传感器电感L与电容C、 变压器原边串联在一起， 接入交流电源 ，变压器副边将有电压 输出，输出电压的频率与电源频率相同，而幅值随着电感L而变化，图4-7（b）为输出电压