高纯和超高纯难熔金属的新发展_殷为宏讲义.pdfVIP

年第 期 稀有金属 材料与工 程199 1 3 户 、 高纯和超 高纯难熔金属 的新发展 殷 为 宏 西北有色 金属研 究院 ( ) 摘 要 本文综述 了当前 国际 上高纯 和超高纯难熔 金属发 展的新情况和新 动向 , 主要内 、 、 容包 括微 量元素 的行为 和对 材料应用性 能的影 响 高纯 和超 高纯难熔 金属 的制取 分析和在近代微电子技术 中的应用 . 关健词 : 难熔金属 纯度 高纯 超高纯 微量杂质元素 , 一 ~ 注当 〔 l 石〕 , 前 厂习 述 本文 将对 当前国 际上 高纯 和超 高纯 难熔 金属 发展 情况 作进 一 步评述 , 为材料 研 究者 现 代微 电子 技术 的迅 速发 展大 大 地促进 和有 关人 员提供信息 和参 考。 了高纯和 超 高纯 难熔金 属的发 展 . 尽 管铝和 , 〔’ 7 , 2 , 多晶硅在微电子 基片的集成 电路 中用作低 电 纯度和微量元 素 一 阻互连 材料 已经 多年 了 , 但 由于存 在 着严重 的电漏 泄和 铝膜 的退 化 等问题 , 铝 已不 能 用 高 纯 难 熔 金 属 应 该 纯 到 什 么 程 度 ? 。 . 于具有 亚微 尺寸 元 件的 器 件中 使 用磁 溅射 9 9 % (4 N ) 或 S N 算不 算 高 纯 ? 这个 问 技术来 沉积 超 高纯难熔 金 属 已 经解 决 了这个 题实 质上 涉 及到纯 度 水平 问题 。 国际上 至今 问题 . 对此 说法 不 一 , 主要 表现 于所分 析杂质 元素 。 由 于在 超 大 规 模 集成 电 路 ( V L sl ) 中 的 类型方面 有 的认 为高纯 金 属 中所 分 析的