LTTL131420080901.pptVIP

LTTL1314 2008/09/01;1、概述 2、静电的基本概念 3、静电产生原因 4、静电特点 5、静电存在形式 6、静电损伤情况;◆微电子工业制造技术目前对ESD控制要求如下： 1、0.15~0.25mm制造工艺CMOS和GaAs制作器件，其耐击穿电压下限通常只有50V~100V。 2、高集成度的超高速、高频IC器件，采用了特殊的制造工艺，如薄膜技术、浅PN结、微小封装等，其对ESD、电浪涌、机械应力、热应力等更为敏感，如：个别VMOS器件耐压只有30V。 以上技术对静电敏感器件产品制造过程提出了更严格的静电防护要求。;◆什么是静电？ 静电就是物体表面过剩或不足的相对静止电荷，它是电能的一种表现形式。;◆产生原因： 1、电子受到外力（能源）影响脱离轨道造成正负电子转移，致使正负电荷在局部范围内失去平衡； 2、不平衡的电荷，产生电场（称为静电场），它能影响一定距离内的其它物体，使之感应带电； 注： 1、外力：摩擦、接触（传导）、分离、感应、冲流、辐射、压电、温 差、电解等； 2、 能源如：动能、位能（势能）、热能、化学能等等； 3、静电感应影响距离远近与其电量的多少有关；;◆静电的特点： ●高电位：可达数万至数十万伏，作业过程可到数百和数千伏（人通常对3.5KV以下静电不易感觉到）； ●低电量：静电流多为微安级（尖端放电例外） ●作用时间短：微秒级 ●受环境影响大：特别是湿度，湿度上升则静电积累减少，静电压下降，如：附件1；;防静电工艺培训;防静电工艺培训;防静电工艺培训;防静电工艺培训;◆日常生活中的静电现象： 1、气候干燥的冬季脱化纤面料衣服时，听到“咝咝”的响声，并拌有火花，有时人体能感受到轻微电击； 3、当穿着化纤面料的衣裤在灰尘较多的地方行走时，衣裤会吸附一层尘埃，并且抖而不掉； 4、电视和电脑荧光屏，会吸附很多灰尘； 5、利用静电“ 异性相吸，同性相斥”特性用于：静电成像、复印、喷涂、植绒、除尘等实践中。 ;◆电子产品中为什么要防静电？ 1、电子产品生产中，操作者与地绝缘时，静电位可高达1.5~35KV； 2、高静电位一旦放电，足以使静电敏感器件、组件及设备毁坏、受损、硬击穿或软击穿，形成永久性或暂时性失效，或突然失效或潜在失效； 3、静电放电产生宽带杂波干扰信号，导致电子设备误动作或烫痪等故障，如：第一艘阿波罗载人宇宙飞船，由于静电放电(ESD)导致火灾和爆炸，三名宇航名全部丧生。;◆ESD基本认识 1、概念：“ESD”是ELECTROSTATIC DISCHARGE的英文缩写，意思是“静电泄放”； 2、静电放电现象 a、雷电。 b、在空气较干燥的冬天，脱下合成纤维衣服时发出劈啪声，夜间可见火花（空气击穿场强为30KV/cm）。 3、目的：控制物体表面静电转移，预防、消除静电危害，保障产品质量； 试验：穿化纤内衣容易皮肤过敏是怎么回事？换棉质内衣试试！;◆静力学材料分类： 1、静电导体：≤104Ωcm（体电阻） 例：金属 2、静电亚导体：104~1010Ωcm 防静电器材 3、静电绝缘体：≥ 1011Ωcm 普通塑料;防静电工艺培训;◆目前我司防静措施： 1、防静电工作服（含工帽） 2、防静电工作鞋 3、防静电腕带 4、防静电手套、指套 5、防静电包装袋、包装泡沫 6、防静电工作台（含台垫、防静电接地支线等）、工 作椅 7、防静电周转箱、周转车 8、防静电接地系统（含防静电母线、支线，防静电地 板或地垫等）;防静电工艺培训;◆控制方法-人员 1、穿好防静电工服及工作鞋（帽）； 2、防静电鞋内不得垫鞋垫； 3、更换工作服在指定地点； 4、防静电工服、工鞋、手套等勤洗勤换，避免强机械、 化学作业； 5、防静电腕带与人体综合阻测试； 6、手腕禁止擦护肤油、防冻油等绝缘护肤品； 7、腕带有效性； 8、禁止在ESD区域内快速行走； ;防静电工艺培训;防静电工艺培训;防静电工艺培训;防静电工艺培训;防静电工艺培训;防静电工艺培训;防静电工艺培训