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第三章 电子显微分析 ——电子探针仪;电子探针仪的概述;电子探针仪的构造及工作原理; 某种元素的特征x射线强度与该元素在样品中的浓度成比例，测出x射线强度I，就可计算出该元素的相对含量。;电子探针仪的构造;1、波谱仪的结构和工作原理; 由布拉格定律，从试样中发出的特征x射线，经一定晶面间距的晶体分光，波长不同的特征x射线将有不同的衍射角? 。;分光晶体;波长色散谱;WDS 特点：;;2、能谱仪的结构和工作原理;能谱仪的工作原理; 利用固态检测器（锂漂移硅）测量每个x射线光子的能量，并按E大小展谱，得到以能量为横坐标、强度为纵坐标的x射线能量色散谱，显示于荧光屏上。;;;EDS 特点：;比较项目;WDS 与EDS比较;能谱仪和波谱仪的谱线比较;电子探针仪的分析方法及应用;分析方法及应用;*;该方法用于显微结构的成份分析，例如，对材料晶界、夹杂、析出相、沉淀物、奇异相及非化学计量材料的组成等研究。;*;通常将电子束扫描线，特征X射线强度分布曲线重叠于二次电子图象之上可以更加直观地表明元素含量分布与形貌、结构之间的关系。;（3）面扫描分析; 亮区代表元素含量高，灰区代表元素含量较低，黑色区域代表元素含量很低或不存在。; (a) 背散射电子成分像1000×;电子探针仪的应用
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