微制造和微机械电子系统(薄膜应力分析).pptxVIP

 微制造与微机械电子系统讨论;1、为什么要测量膜基的结合力 膜基之间结合强度的好坏是评价膜层质量的关键指标，是保证薄膜满足力学、物理和化学等使用性能的基本前提。;2、影响结合力的因素（主要是应力的影响） ;3、应力的来源;膜基结合力的测量方法;拉伸法(参考来源：崔振铎，杨金霞，基体拉伸法 测试膜基界面结合力的研究，天津大学材料科学与工程学院 );(3) 焊接或粘接层的厚度要均匀,并保证接触面积不变。因此,为了获得可靠的试验结果,焊接或粘接必须在专用装置上完成,以保证加到拉伸杆上的拉力通过基片圆平面的中心点。另外,所测界面结合强度应小于焊接或粘接强度才有意义。 ;划痕法 （参考来源：瞿全炎，划痕法综合评定膜基结合力 华南理工大学材料科学与工程学院）; 划痕法 划痕试验机 膜基结合力测试结果;超声波测试法（参考来源：马峰，膜基界面结合强度表征和评价，上海交通大学）; 一般,超声波法评价涂层界面结合强度还属于定性评价。 ;压入法（参考来源：徐可为，涂镀层的结合强度评定，西安交通大学）;图中HF–1~HF–4(HF 是德语中结合强度的 缩写)表示有足够的结合强度，而HF–5~HF–6 表示结合强度不够接触疲劳法测定界面疲劳强度;滚动接触疲劳法; ;剥离法;剥离法;;增强硅基薄膜膜基结合力的方法;;基体表面的微观凸凹不平可以增加基体和薄膜之间的结合力。其原因有二： 1.薄膜在凸凹不平的表面沉积产生钩连效应和铆接效应，增加了结合力。 2.表面粗糙度高，基体的真实表面积变大，基体与镀层的接触面积大，结合力也相应的变大。;;;;参考文献： [1]崔振铎，杨金霞，基体拉伸法测试膜基界面结 合力的研究，2001-7,天津大学材料科学与工程学院 [2]瞿全炎，划痕法综合评定膜基结合力 华南理工大学材料科学与工程学院 [3]马峰，膜基界面结合强度表征和评价，上海交通大学 [4]徐可为，涂镀层的结合强度评定，西安交通大学 [5]覃奇贤，刘淑兰，镀层与基体的结合力2009-06-02，电镀与精饰，第32卷第一期 [6]徐滨士，表面工程与维修[M]，北京：机械工业出版社，1996,303-309 ;THANK YOU !