微纳笔记提问作业解说.docVIP

第一章 1、微纳米材料的三个特性是什么? 答：微尺寸效应、表面与界面效应、量子尺寸效应。 2、微纳测试的研究内容是什么，并解释其内涵 答: 研究内容: 圆片级测试、管芯级测试和器件级测试。 圆片级测试：主要解决MEMS在工艺线上制造过程中微结构与设计的符合性、微结构之间以及不同批次圆片间的一致性与重复性问题； 管芯级测试：主要解决封装前微器件的成品率的测试问题； 器件级测试：1、检测封装的质量，进行微器件的综合性能测试； 2、考核微器件的可靠性，给出可靠性指标。 3、微纳测试方法有哪两大类 答：接触式测试与非接触式测试。 4、微纳测试仪器有哪几类 答：光学、电子学、探针等。 5、微纳测试的特点 答：1、被测量的尺度小，一般在微纳米量级； 2、以非接触测量为主要手段。 第二章 1、试述光学法在微纳测量技术中的意义（同自动调焦法优点） 答：1、由于是非接触测量，因而对被测表面不造成破坏，可测量十分敏感或柔软的表面； 2、测量速度高，能扫描整个被测表面的三维形貌，且能测量十分复杂的表面结构； 3、用这种方法制成的测量仪器可用在制造加工过程中实现自动化测量。 2、可见光的波长范围 答：400~760nm 3、凸透镜成像的5种形式 答：形式1：当物距大于2倍焦距时，则像距在1倍焦距和2倍焦距之间，成倒立、缩小的实