材料测试分析方法-13-1[XPS].pptVIP

第13章 现代分析测试方法;§13-1 X射线光电子能谱原理与应用;1.光电子发射 当X射线光子与样品作用，被样品原子的电子散射和吸收。 X射线易被内层电子吸收。若入射X射线能量（h ν）大于原子中电子的结合能及样品的功函数时，电子可以吸收光子的能量而逸出样品，形成光电子（内层电子电离后较外层电子跃迁填补空穴，同时发射X射线或俄歇电子） ;;光电子的动能： ;;2. 逃逸深度（λm） ;逃逸深度与逸出角有关 ;二、XPS仪;;1、X射线源;双阳极X射线管;X射线的单色化;2、电子能量分析器;;;3. 电子探测及数据处理;4.离子束溅射;5.真空系统;6. 成像XPS;三、XPS样品制备;在实验过程中样品通过传递杆，穿过超高真空隔离阀，送进样品分析室。因此，样品尺寸必须符合一定规范。 对于块体样品和薄膜样品，其长宽最好小于10mm, 高度小于5 mm。 对于体积较大的样品则必须通过适当??法制备成合适大小的样品。但在制备过程中，必须考虑到处理过程可能会对表面成分和状态的影响。;2. 粉体样品;3. 挥发性材料;4. 污染样品;5.带有磁性的材料;6. 样品的离子刻蚀 ;四、XPS定性分析;定性分析方法;;典型XPS谱;XPS特征;化学位移;《材料分析测试方法》;深度剖析;《材料分析测试方法》;五、XPS在材料分析中的应用;XPS提供的各种信息