混合集成微型光纤光谱仪的实验测定.pdfVIP

第 卷，第 期 光 谱 学 与 光 谱 分 析 ， ， 2 3 6 VOI . 23 NO . 6 pp1232-1236 年 月 S ectrOscO and S ectraI AnaI sis ， 2 0 0 3 1 2 p py p y December 2003 !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 混合集成微型光纤光谱仪的实验测定 陈 刚，温志渝，温中泉，蒋子平，黄尚廉 重庆大学光电工程学院，重庆 400044 摘 要 文中简述了所研制微型光谱仪的基本原理和基本结构，并对该微型光谱仪进行了实验测试和标定。 在实验中采用汞灯作为测试所用的光源，分别使用不同芯径和数值孔径的光纤作为光输入元件，实验结果 表明该光谱仪具有很好的线性度，在采用50 m 的多模光纤时，光谱分辨率可达 13 . 8 nm ，在采用9 m 的 P P 单模光纤时分辨率可以达到5 . 5 nm 。 主题词 微型光谱仪；微型光机电系统（ ）；光电阵列探测器；光谱 MOEMS 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） O443 A 1000-0593 2003 06- 1232-05 面的平直，并且还具有减小系统像差、提高系统成像质量的 引 言 作用。因此，采用凹面光栅作为系统的分光元件可使系统具 有结构简单紧凑、光学面少、体积小、光能利用率高、便于 作为一种典型微型光机电系统（ 系统的一体化混合集成等优点。 MicrO OptO-eIectrO- ， ），微型光谱仪具有许多大型光谱 mechanicaI s stem MOEMS y 仪所不具备的优点，如重量轻、体积小、探测速度快、使用 ［］ 方便、可集成化、可批量制造以及成本低廉等 1 。并且微型 光谱仪有着巨大的应用市场，其应用范围涉及化学分析、生 物研究、农业生产、环境监测、临床医学检验和医学研究、 工业在线质量控制以及航空航天遥感等领域。因而微型光谱 仪的研制引起了各国的重视，并成为微型光机电系统的一个 重要的研究热点，国外已研制出了一些投入实际应用的微型 光谱仪。近年来，我们在微型光谱仪的研制方面取得了一定 的进展，先后研制出了折衍混合集成微型光谱仪和反射式混 合集成微型光谱仪。本文主要对研制出的反射式混合集成微 Fi . 1 The structure schematic lan of the micro s ectrometer g p p 型光谱仪的原理和结构进行简单的介绍，并对实验测试数据 进行了处理和分析。