肖特MEMpax.PDFVIP

肖特 MEMpax? 产品信息 肖特 MEMpax? 是一款由火抛光工艺制造的高硼硅玻璃。它与众所周 知的肖特 Boro?oat? 33 玻璃具有相仿 的化学和物理特性。 同时，MEMpax? 厚 度 更 薄 ，得 益 于 优 秀 的 表 面 质 量 ，可 以 直 接 提 供 薄 且不再需要研磨和抛光的晶圆。肖特MEMpax? 可以被用在任何需要 超薄高硼硅玻璃的地方。MEMpax? 的线性热膨胀系数与硅接近，因此， 这款玻璃可以被完美的使用在阳极键合上。 它 自 体 荧 光 性 很 低 ，配 合 着 优 秀 的 表 面 质 量 、平 整 度 和 材 质 均 匀 性 特 征 ， 为肖特 MEMpax? 在微机电系统和生物科技上的应用提供了更多的可 能性。 得益于低碱含量，MEMpax? 可以作为高质量的绝缘体。因此，MEMpax? 对 于 需 要 在 高 温 下（ 高 于 450°C）保持绝缘特性的应用来说是极为合适 的材料。 应用 MEMS 微机电系统 ? 与硅接近的线性热膨胀系数 ? 适用于阳极键合 ? 无需抛光的薄晶圆 ? 高耐热和化学稳定性 生物科技 ? 高透光性 ? 可选厚度范围广 ? 低自体荧光 ? 优秀的表面质量 技术参数 尺寸 2到12 圆片或方片 保留更改该产品单规格的权利，恕不另行通知。 表面粗糙度 Ra 0.5 nm 厚度 * 0.1 mm - 0.5 mm 标准厚度 * 0.2, 0.3, 0.4, 0.5 mm 透光率 τvD65 (厚度 = 0.5 mm) 92.9 % –6 –1 线性热膨胀系数 α (20 °C; 300 °C) ( 静态测量) 3.3 · 10 K Optics) Advanced (SCHOTT 转变温度 Tg 532 °C 1 MHz下介电常数 εr 4.8 折射率 原片玻璃 月版。肖特先进光学 nD ( ) 1.4714 6