自对准单层多晶硅基极和亚微米射极接触高速双极工艺※.pdfVIP

维普资讯 自对 准单层多 晶硅基 极和亚 微 米射? 极接 触高速双极 工艺※? ?．? ? ． ?? ?????等? 摘? 要? 本 文介 绍 ?一 种 单层 多 晶硅 作 基 极和 发 射 极 接 触 的新 型 、 高性 能 硅 媳 极 晶 体 管? 的 安验 结果 ， 我 们 把 这 种 结构 叫做 ???????自对 准开 槽 隔 离 多晶 硅 电极 ?。 已 提 供? 的发射极／基极