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第 25 卷 1 期 半 导 体 杂 志 2000 年 3 月 深亚微米 M OS 器件的物理、结构与工艺 刘艳红, 赵宇, 王美田, 胡礼中, 魏希文 ( 大连理工大学物理系, 116024) 摘要: 本文从器件物理、器件 结构 和工艺 等三 个方面 介绍 了深 亚微 米器 件。包 括: 短沟 道效 应; LDD 和 SO I 结构; 移相掩模光刻技术和多层金属布线工艺。 关键词: 深亚微米 M O S 器件 中图分类号: T N 432. 2 文章编号: 1005- 3077( 2000) - 01- 35- 05 Physics 、structure and technology of