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磁控溅射沉积系统 用户手册 声明： 感谢您购买中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（以下简称沈阳科仪公司）的设备 ，请您在使用该设备之前认真阅读本说明书，当您拿到该说明书时，请认真阅读以下声明。如不接受本声明，请立即与本公司联系，否则视为全部接受本声明。 本说明书所有内容，未经沈阳科仪公司书面同意，任何人均不得以任何方式（复制、扫描、备份、转借、转发、转载、上传、摘编、修改、出版、展示、翻译成其它语言、传播以及任何其它方式）向第三方提供本说明书的部分或全部内容。如有违反，沈阳科仪公司将保留一切权利。 本说明书仅供使用者参考，可作为使用者所在公司学习、培训的内部资料。 本说明书所详述的内容，不排除有误或遗漏的可能性。如对本说明书内容有疑问，请与沈阳科仪公司联系。 关于知识产权，请严格遵守知识产权保护的相关法律法规。 本说明书解释权归中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司所有。 保护知识产权、促进创新发展；运用知识产权、发展知识经济；打击盗版侵权 、繁荣文化事业；保护知识产权、激励自主创新；加强知识产权保护、规范市场经济秩序；保护知识产权从你我做起！人人应该做到这样！  磁控溅射沉积系统 PAGE   PAGE \* MERGEFORMAT 28 前言： 首先感谢购买我们的设备，本着对您负责的精神，并为了确保给您提供最优质的售后服务，特别为您准备了本手册，请您耐心读取相关信息。 您的义务 请您在使用过程中，将发生故障的操作步骤填写在用户反馈问题清单中，我们将参考此表内容尽我们最大的能力在最短的时间内完成维修。 如何使用本手册 如果您是初次使用该设备，那么您需要通读用户手册。如果您是一位有经验的用户，则可以通过目录查找相关信息。 本手册涉及的字体及符号说明： 字体的大小直接反应父、子关系，符号说明见下表： 符号指示性说明代表意义?描述性说明没有先后顺序之分，是比?和■高一级目录?详细描述性说明没有先后???序之分■详细描述性说明有先后顺序之分?提示性说明有利于深刻认识系统，并且可以避免不必要的故障发生警告性说明必须严格遵守的内容，否则会发生严重事故目录  TOC \o 1-3 \h \z \u  HYPERLINK \l _Toc381288896 绪言  PAGEREF _Toc381288896 \h 1  HYPERLINK \l _Toc381288897 一、系统简介  PAGEREF _Toc381288897 \h 1  HYPERLINK \l _Toc381288898 1、概述  PAGEREF _Toc381288898 \h 1  HYPERLINK \l _Toc381288899 2、工作原理以及技术指标  PAGEREF _Toc381288899 \h 2  HYPERLINK \l _Toc381288900 工作原理：  PAGEREF _Toc381288900 \h 2  HYPERLINK \l _Toc381288901 技术指标：  PAGEREF _Toc381288901 \h 2  HYPERLINK \l _Toc381288902 3、系统主要组成  PAGEREF _Toc381288902 \h 3  HYPERLINK \l _Toc381288903 溅射真空室组件：  PAGEREF _Toc381288903 \h 3  HYPERLINK \l _Toc381288904 上盖组件：  PAGEREF _Toc381288904 \h 4  HYPERLINK \l _Toc381288905 真空获得和工作气路组件：  PAGEREF _Toc381288905 \h 5  HYPERLINK \l _Toc381288906 安装机台架组件：  PAGEREF _Toc381288906 \h 7  HYPERLINK \l _Toc381288907 4、设备安装  PAGEREF _Toc381288907 \h 7  HYPERLINK \l _Toc381288908 安装尺寸：  PAGEREF _Toc381288908 \h 7  HYPERLINK \l _Toc381288909 配套设施：  PAGEREF _Toc381288909 \h 7  HYPERLINK \l _Toc381288910 二、系统主要机械机构简介  PAGEREF _Toc38128