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第八章 半导体表面;1、清洁表面的获得;;2、表面能级、表面态、表面态密度;;;;;;;;;;§2 表面电场效应;;;;;2、表面电荷区的电场、电荷和电容与Vs的关系
假设:
①半导体表面为一平面,且表面
线度远大于空间电荷层厚度。
②半导体厚度比空间电荷层厚度
大得多。
③半导体均匀掺杂,表面空间
电荷层中电离杂质浓度相等。
④表面层均匀,电荷密度、电场、电势层表面方向不变。
⑤表面空间电荷层中的载流子为非简并。;;;;应用以上公式讨论具体情况;;;;;;;§3 MOS结构的电容-电压特性(C-V特性);;归一化的电容电压曲线;;;;§ 4、实际MOS结构 C-V特性;;;;Q;;;;§ 5、表面电导及有效迁移率;;§ 6、表面电场对pn结特性的研究;;;;;;
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