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　　非晶材料在传感器中的应用的论文 　　 论文 关键词：单晶材料　多晶材料　非晶材料　非晶硅　非晶磁性材料　非晶传感器 　　论文摘要：摘要：对敏感功能材料研究开发所呈现的主要趋势之一就是从单晶材料向多晶材料和非晶材料方向过渡 发展 。由于非晶材料具有光吸收系数高、基片材料的限制性小、性能易于扩展、制作工艺简单等优点，因而受到多方面青睐。本文侧重介绍非晶材料的现状、基本特性及其在传感器中的应用与展望。 　　一、引言 　　最近，对敏感功能材料的研制开发所呈现的主要趋势之一就是从单晶材料向多晶材料和非晶材料的方向过渡发展。到目前为止，传感器中应用的敏感功能材料多为单晶材料，特别是物理类传感器更是如此。例如，光敏传感器一直就是用si、gaas 之类的单晶半导体。另一方面，气敏传感器主要由多晶材料或多孔陶瓷构成。陶瓷由粉末混合物经模压、烧结而形成。采用理想特性的原材料并对烧结工艺严加管制，便可制成一种精细陶瓷，使之应用于传感器，从而开辟了陶瓷拓宽应用的新天地。单晶传感器仅利用了晶体的体性能，而多晶传感器和陶瓷传感器则利用了多孔性和晶粒边界特性，从而开辟了拓宽应用于气敏传感器和热敏传感器的新途径。 　　非晶材料大致分为非晶磁性材料和非晶半导体材料。引人注目的非晶合金现已步入实用阶段，特别是近年来又在基础和应用方面作了深入研究，从而了解非晶金属在结晶状态所具有的独特物性，使之拓宽应用于传感器，颇具实用价值。 　　二、背景材料以及非晶材料的应用现状 　　随着人类认识的发展和技术的进步,从20 世纪50 年代涌现了若干新型非晶态材料,包括非晶合金、非晶半导体、非晶超导体、非晶离子导体和有机高分子玻璃等。.其中非晶合金中原子的混乱排列情况类似于玻璃,故又称为金属玻璃。金属玻璃可由多种工艺制备，所有工艺都涉及将合金从液态或气态快速凝固，凝固过程非常快以致将原子的液体组态冻结下[1-3]。它们在热力学上处于亚稳状态,在晶化温度以上即可克服一定大小的能垒而转变成晶态。 　　研究表明,非晶态结构上与液体相似(见图1) ,原子排列是短程有序的;从总体上来说是长程无序的,宏观上可将其看作均匀、各向同性的。非晶态结构的另一个特点是热力学的不稳定性,存在向晶态转化的趋势,即原子趋于规则排列。为了进一步了解非晶态的结构,通常在理论上把非晶态材料中原子的排列情况模型化,其模型归纳起来可分为两大类。一类是不连续模型,如微晶模型、聚集团模型等;另一类是连续模型,如连续无规则网格模型、硬球无规密堆模型等。虽然所建立的种种模型[4]于描述非晶态材料的真实结构还不够精确。但在解释非晶态材料的某些特性如弹性、磁性上,还是取得了一定的成功。非晶态合金的长程无序、短短有序的特性导致非晶态金属有着良好的机械性能、优良的化学性能以及优异的软磁性能。 图1 气、液、晶态和非晶态双体分布函数[5 ] 1、非晶磁性材料 非晶磁性材料是杜韦斯(dun、nb、mo、cr 等元素。图2所示为透磁率—频率特性，并与结晶材料作了比较。图示表明，非晶材料从低频到高频领域均为高的透磁率。为了得到高透磁率，须严密控制组合成分，使磁致伸缩常数大致为零， 极力减小在制造过程中及热处理过程中容易发生的感应磁各向异性，如此便可获得高透磁率。再就非晶材料的实用性而言，至关重要的一点就是时效稳定性问题。非晶是亚稳定物质，因而当升温达结晶温度以上时就起结晶作用。因此，磁特性、机械特性便随之大幅度降低。这样即使在结晶温度以下的温度领域，磁特性也呈现缓慢变化现象。通过精心热处理，可望减小时效变化。但对使用温度环境下的时效稳定性，须抓住充分斟酌、精心设计这一重要环节。 图2 高透磁率co基非晶金属的有效透磁率—频率特性 2、低铁耗、大仰角 组合成分为co 基材料，与高透磁率为同一系统。由于转换电源用的饱和扼流圈等的b-h 曲线（磁化曲线）需用大仰角，因而通过热处理使磁心的磁路方向发生感应各向异性，如此便可获得低铁耗、大仰角的磁特性。 表1 低铁耗大仰角非晶金属的磁特性 co 基非晶*1 坡莫合金*2 矩形铁素体 铁耗) 0.56 8.0 40 饱和磁通密度bs(t) 0.78 1.51 0.40 居里温度（k） 543 773 480 结晶温度（k） 798 --- --- 注：*1.片厚20μm *2.片厚100μm 　　3、高饱和磁通密度 基本组合成分为fe、si、b，以提高耐蚀性、降低铁耗为目的，还可适量添加cr、ni、nb 等元素。表3 列出高饱和磁通密度fe 基非晶金属的磁