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玻璃与金属封接产品的开发 DEVELOPMENT OF THE GLASS TO METAL SEALING PRODUCT 领 域： 作者姓名： 指导教师： 企业导师： 天津大学精密仪器与光电子工程学院 二零一三年九月 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作和取得的研究成果，除了文中特别加以标注和致谢之处外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得 天津大学 或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。 学位论文作者签名： 签字日期： 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解 天津大学 有关保留、使用学位论文的规定。特授权 天津大学 可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，并采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编以供查阅和借阅。同意学校向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘。 （保密的学位论文在解密后适用本授权说明） 学位论文作者签名： 导师签名： 签字日期： 年 月 日 签字日期： 年 月 日 摘要 玻璃与金属的封接，用途非常广泛，尤其在电子、激光、航天航空以及汽车制造等领域有较多的应用。随着电子元器件的种类多样化，形状复杂化，对玻璃与金属的封接技术要求越来越高，要求封接件有良好的机械性能和导电性能。 玻璃和金属是两种性质根本不同的材料，若要将它们紧密地结合在一起，有许多基本要求。需了解低熔玻璃的性能，还得根据玻璃的性能进行表面处理、金属的表面处理及预氧化处理、封接模式的的选择等。这些因素都关系到封接的气密性和牢固度。 本文以蓝宝石窗片作为基片，通过在中间层添加玻璃粉末焊料，利用高频电磁感应的封接技术，在实验过程中通过不断调整封接的电流、升温时间、恒温时间、降温时间等焊接参数来进行对比焊接的效果。通过实验后明确需要改善的方向，如金属件的磨砂处理以及通过改善镀膜夹具对蓝宝石窗片的封接区域进行不镀膜处理，这些方式都可以提高焊接的牢固度。最终确定了玻璃与金属的封接的工艺参数，使封接件的推力测试满足20KGF以上，漏率测试满足1×10-10pa·m3/s以下，且通过一系列的可靠性实验后，产品的性能指标能满足实际的需求。 关键词：低熔玻璃，可伐金属，感应封接 ABSTRACT Sealing of glass and metal is widespread,expecially in electronic , laser, space navigation and automobile industry in so many field.The more electron component diversify and shape complicate, the higher for technical requirement of them . Not only require with good mechanical property but also with good electrical conductivity. Glass and metal are two fundamentally different nature of the material, if they should be closely combined together, has many basic requirements. Such as performance analysis ,the glass surface treatment, metal pre oxidation treatment, sealing mode selection factors are related to the sealing of the air tightness and the firmness. Sapphire windows used as substrate in the article to add glass powder in the intermediate layer and make use of high-frequency current sealing technology to adjust pa