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58 低温与特气　　1996　　? 3 应用技术 水分析仪的校准 何玉兰 ( 北京普莱克斯实用气体公司　北京　100022) 叙述了水分析仪校准的重要性, 通过 MG- 200 型标准水发生器对水分析仪的校准及国内外水标准的建立, 对国内各单 位水分析仪校准的可行性加以探讨。 主题词: 水分析仪校准　渗透法　水标准 1　前　言 可是, 国内很多单位的水分析仪并不校 随着国民经济各部门的飞速发展, 特别 准, 一直用到坏了为止。 是超大规模集成电路的制造, 对高纯气的质 量提出了很高的要求, 气体中微量水分的检 2　水分析仪校准的重要性 测尤为重要。例如, 电子级高纯气体中微量 水分应控制??? 10- 6 ～10- 9 级。目前, 用来测 在工业生产中, 控制物质中的水分含量 量气体中水分的湿度计、湿敏元件及测水方 具有重要作用。如, 在化工聚合过程中, 因 法种类繁多。表 1 为国内外测量微量水的方 原料中含有一定的微量水分, 就会降低聚合 法。各种测水仪测量数据是否准确一致, 是 产品的性能; 在许多场合, 水分对催化剂具 否能保证产品质量, 就必须将仪器校准在一 有毒性, 甚至使它失效; 氯化氢中含有水分, 个标准上。电容法及微波法测水仪适用于流 会产生很强的腐蚀作用; 电子级高纯气中含 程控制分析, 并具有灵敏、准确、重复性好、 水量应控制在 10～0. 1×10- 6 , 含水量过多, 快速等特点。但是仍需用标准样品和标准方 会导致电路产生缺陷。 法进行校正。电解测水法及库仑滴定的费休 在实际测试中, 我们还发现同一样品用 法等测水仪, 有较坚实的理论基础, 为了更 不同的仪器或用同一类型的仪器进行检测, 精确、更准确地测定, 也要与准确的数据和 往往得到不同水值的分析结果, 尤其在分析 方法进行比较和校正。 含水量为 10- 6级的气体样品时, 这种情况更 表 1　国内外测量微量水的方法 为多见。其原因除了仪器方法的系统误差及 序　号 测　水　方　法 个人误差之外, 也与所取定量标准不一致有 1 化学法　　　　　　　费休法 关。众所周知, 环境和器件上无处不存在水 2 电化学、电子学法　　电解法、电容法及微波法 分, 在正常的室温和湿度范围内, 空气中就 3 吸收法　　　　　　压电石英振荡法、吸附热法 有数千至数万 ppm 水分。水分又有很强的吸 4 露点法 附性, 在未经抛光处理的管道和容器壁上都 5 光学法　　　红外光谱、紫外光谱、比色、激光法 不同程度地吸附着水分, 因此, 要准确地配 6 气相色谱法 制和保存一个 10- 6 级水分的 瓶装标准气是 低温与特气　　1996　　? 3