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MEMS陀螺仪技术简介 每月特辑 Feature ◆ 意法半导体/Jay Esfandyari, Roberto De Nuccio, Gang Xu 多轴MEMS陀螺仪结构大幅缩小，单封装集成数字接口，占板面积仅几平方毫米，低廉的价格被大多数客户接受，这些优势促使MEMS陀螺仪渗透到手持设备市场。 MEMS陀螺仪让便携设备能够增加很多令人惊喜的特色功能，其中包括提高相机性能的图像稳定功能；增加更多功能并提高易用性的用户界面；令人兴奋的游戏娱乐功能。MEMS陀螺仪还将用于需要高灵敏度、低噪声、低漂移（因长时间使用而发生的测量偏差或受到环境温度影响而产生的偏差）的航位推测和GPS辅助导航。 本文讨论如何根据角速率和角位移测量结果，从一个MEMS陀螺仪快速获取有价值的信息。 第一部分论述MEMS陀螺仪的工作原理和目标应用；第二部分介绍模拟输出或数字输出MEMS陀螺仪的主要参数；第三部分介绍MEMS陀螺仪的实用校准技巧；第四部分通过4个示例，从角位移的角度说明如何测试MEMS陀螺仪的性能。 件实现量产，价格低廉，尺寸紧凑，适合消费电子产品。1. MEMS陀螺仪工作原理 MEMS陀螺仪利用科里奥效应测量运动物体的角速率，如图1所示。 多数采用一种调音叉结构。这种结构由两个振动并不断地做反向运动的物体组成，如图2所示。当施加角速率时，每个物体上的科里奥效应产生相反方向的力，从而引起电容变化。电容差值与角速率 成正比，如果是模拟陀螺 仪，电容差值转换成电压输出信号；如果是数字陀螺仪，则转换成最低有效位。 如果在两个物体上施加线性加速度，这两个物体则向同一方向运动。因此，不会检测到电容变化。陀螺仪将输出零速率输出 图1:科里奥效应 值或最低有效位，表示MEMS陀螺仪对倾斜、撞击或振动等线性加速度不敏感。 2.MEMS陀螺仪应用 下面是MEMS陀螺仪的目标应用：. ● 根据科里奥效应，当一个物体(m)沿方向运动且施加角旋转速率时，该物体将受到一个黄色箭头方向的力。 然后，从一个电容感应结构可以测到科里奥效应最终产生的物理位移。 目前市面上的MEMS陀螺仪 MEMS陀螺仪能够测量角 速率。数码相机使用陀螺仪检测 一.MEMS陀螺仪技术概述 MEMS陀螺仪在高性能和低功耗方面取得巨大进步。这些器 图2:当施加角速率时 2011. 04 / 电子与电脑 23 ● 人手的旋转运动，能够对图像起到稳定的作用。在汽车上，偏航陀螺仪可以开启电子稳定控制（ESC）制动系统，防止汽车急转弯时发生意外事故。当汽车出现翻滚状况时，滚转陀螺仪可以引爆安全气囊。 ● 全量程 零速率输出值(电压或最低 以及BW参数获得的模拟陀螺仪和数字陀螺仪的标准分辨率。 ● 了陀螺仪的量程范围 。. ● 自测 (mV or dps):这个功 效位):这个参数规定了当陀螺仪没有被施加角速率时的零速率输出信号的数值。 ● 能可用于测试陀螺仪工作是否正常。这个功能的好处是在陀螺仪安装到印刷电路板后无需旋转印刷电路板即可测试陀螺仪。 灵敏度 (mV/dps或当汽车导航系统无法接收这个参数规定了在零速率输出值时1 dps与模拟陀螺仪输出电压变 GPS卫星信号时，偏航陀螺仪能够测量汽车的方位，使汽车始终沿电子地图的规划路线行驶，这个功能被称之为航位推测系统。 ● 三.MEMS陀螺仪校准 每个陀螺仪在出厂前都经过严格的性能测试以及灵敏度和零速率输出值校准。不过，当陀螺仪组装到印刷电路板后，因为机械或电焊应力的影响，零速率输出值和灵敏度可能会略微偏离工厂校准调试值。 对于游戏机和遥控器等 偏航陀螺仪还能用于室内安装在机器人四肢上的多 机器人控制。 ● 路惯性测量单元(IMU)能够跟踪和监测身体运动。 ● IMU可用于空中鼠标。IMU还能用于运动控制式游IMU配合磁力计和GPS接收 化的关系，用mV/dps表示；数字陀螺仪的灵敏度(dps/LSB)表示1个最低有效位与dps的关系。 ● ● 应用，设计人员只要用数据表中的典型零速率和灵敏度参数，即可把陀螺仪的测量信号转换成角速率。 对于要求严格的应用，设计人员需要重新校准陀螺仪的零速率输出值、灵敏度和以下重要参数: ● 戏平台。 ● 器，可以在手持设备上执行个人导航功能。