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第7节大尺寸测量
§2-7 大尺寸测量;本节主要内容;一.概述;
直接测量 用通用量具
用测长机:大尺寸量值传递、高精度工件;
用激光干涉仪:依相干原理、以波长为基
准、非接触、高精度。
间接测量 辅助基面:主要是测量大尺寸工件的外
弦 高 法:直径1000mm至10000mmm的非整圆
的内外径
围 绕 法:通过测周长求直径
长杆量规:简便、现场常用
对 滚 法:利用对滚原理,被测圆柱与标准
滚柱比较转角进行测量;
经纬仪法:不仅可测量直径和长度,还可测
量安装位置误差。;二、大尺寸的直接测量法 ;常用的大型通用量具; 内径百分(千分)表;大型量具的校准
测量误差分析
A.主要误差来源:温度、受力变形和量具
的检定误差;
B.其他测量误差:示值、读数瞄准、接触
误差和量具的对零误差等
C.与中等尺寸的测量相反,大尺寸中的外
尺寸比内尺寸的测量精度为低。 ;2.用测长机测量;光学补偿式测长机的基本结构;测长机的光学系统:
(1)光学系统示意图;;仪器经读数显微镜3进行读数,小于0?1mm的读数由光学计管2完成。如图2-36所示。 ;(3)爱帕斯坦(Epenstien)原则
(A)问题的提出
该仪器的测量轴线与基准轴线平行,不共线,违背了阿贝原则,会产生很大的测量误差。
(B)补偿方法:光学补偿
光学补偿原理——爱帕斯坦(Epenstien)原则
在设计上采用对称的棱镜和物镜系统,使一次误差基本上得到了综合的补偿,从而保证了本仪器仍然具有较高的测量精度。;;式中: H—测量线与刻线尺表面间的距离;
F—准直物镜9和11的焦距;
l—尾架测头顶端距S点的垂线的距离;
φ—尾架偏转角;;Δl和Δl1互相补偿,因此测量误差ΔL为:;3.激光干涉测量法;;(2)双频激光干涉测长
双频激光干涉仪以交变信号为参考信号,可避免零点漂移,有较强的抗干扰能力,可在现场使用。测量长度可达60m左右。双频激光干涉仪的最小分辨率为0.08,最大位移速度为300m/s,其测量精度可达到L(L为被测长度)。
图2-39为双频激光干涉仪的光学系统。在时间t内与被测长度对应的多普勒频差为:;三、大尺寸的间接测量;2.弦高法;3.围绕法;4.用长杆规测量大孔直径;5.对滚法; 图2-47为DY—1型大直径测量仪。;6.经纬仪法:
尺寸大于5米的零件,可用经纬仪测量。用经纬仪不但可测
大尺寸零件的直径和长度,还能测量在装配中机件的位置误差。
(1) 中心标尺法
如图2-48所示。;(2) 弧长法
如图2-49所示 ; 由Δabc可求出被测长度L为 :;7.光电对准—干涉测量法;四、无导轨测量;
(3)1977年C.R.Tilford对于由条纹尾数确定长度的分析法进行了系统的理论分析,并且提供了合成波长的概念,对激光多波长干涉测量起了重要的推动作用 。
2.无导轨测量的优点:
与有导轨测量比
省导轨,快速,避免累加计数过程中的误差、错误等;
推动测量机器人的发展;
3.无导轨测量的测量方法:
多波长测量
半导体激光线性绝对距离的干涉测量
激光测距;(二)多波长测量的原理(绝对距离干涉测量方法);
( i=1,2,3对应三波长)
式中:mi为干涉级整数部分,
εi(i=1,2,3)为干涉级的小数部分
假设测量结果为:
ε1=0.1, ε2=0.0, ε3=0.5;红光
667.8186nm; 实际情况还要复杂些。例如空气折射率的修正和条纹尾数符号的判断。
小数重合法虽然使用了多个波长,并没有使用合成波这个概念,在当时的技术条件下,还没有条件得到两条谱线之间的拍波。
小数重合法对于初测提出了严格的要求 。
C.R.Tilford对于由条纹尾数确定长度的分析法进行了系统的理论分析,并且提供了合成波长的概念 。
;2.合成波法; 设被测长度L的粗测值为L0,其测量的不确定度为ΔL,即L=L0±ΔL,那么 ;即如果已知L的初值不确定度小于所用波长的四分之一,那么2L/λs 的整数部分唯一确定,这时只需测量出小数级次,就可精确测量出长度L,这就是绝对距离干涉测量的基本原理 。
由于直接用于长度测量的光波波长很短,因此,利用单波长实现绝对距离测量是很困难的(对粗测精度要求太
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