一种负压驱动的蠕动微型泵设计.pdfVIP

20 12年第40卷第12期 流体机械 47 文章编号：1005—0329( 2012) 12 一0047一04 一 种 负 压 驱 动 的 蠕 动 微 型 泵 设 计 崔建国。王洪 ( 重庆理工大学，重庆400054 ) 摘要：微 型泵作为集成微流体中不可或缺 的元素，在过去20年间取得了很大 的进展。基于真空负压驱动原理 ，研制 了一种结构简单的蠕动式微型泵。微型泵 由三层聚二 甲基硅氧烷( PDMs) 材料构成( 气路层，流路层，驱动薄膜层) ，并 通过表面等离子体氧化处理技术实现了PDMs 层之间的键合封装，其全部结构均采用激光器加工制作而成。蠕动驱动 模式的关键在于利用气路周期性地传递负压力波，进而实现弹性薄膜的顺序变形，其中负压源通过电磁阀( EMV) 进行 通断控制。这种结构简化 了常规蠕动泵模型中的复杂逻辑控制。实验结果表 明在50kPa负压和30Hz驱动频率的条