静电放电概論.PDFVIP

靜電放電概論 第一部分—靜電放電（ESD ）簡介 © 2013 ，靜電放電協會，紐約州羅馬市 歷史背景沿革 對許多人來說，靜電放電（ESD ）只是一種行經毛料地毯、滑過汽車座椅，或是觸摸 金屬門把時，所感受到的電擊現象，或時。然而幾世紀以來，靜電和 ESD 一直都是嚴重 的工業問題。早在 15 世紀時，歐洲和加勒比海地區的軍事要塞就已使用一些靜電控制措 施和器材，來防止火藥庫因靜電火花點燃而發生意外。 1860 年代，美國造紙廠採用基本 的接地裝置、火焰離子化技術，及汽鼓等，以消除紙幅經過乾燥程序後所帶的靜電。任何 你可想像得到的商業和工業生產過程，多少都會遇上帶電與放電等相關課題。靜電控制在 很多工業領域中都有著舉足輕重的地位，如軍火炸藥，石油化工，醫藥，農業，印刷和平 面設計，紡織，噴塗，甚至塑膠製品等。進入電子時代，靜電及靜電放電帶來了新的相關 問題。況且，隨著電子器件速度的增快，集成電路也越來越小，它們對 ESD 普遍變得更 敏感。這種趨勢可能會加速發生。美國靜電放電防護協會（ESDA ）於 2010 年 4 月發佈 修訂的 「靜電放電技術準則」（Electrostatic Discharge (ESD) Technology Roadmap ）中提 及：「電子器件從 2010 到 2015 年間及以後，敏感度將會越來越高，各公司應立即監測各 種操作處理程序的防靜電能力。」今天，在全球電子化環境中，實際上無論從何種面向來 看，ESD 都衝擊著生產力和產品可靠度。 儘管經過三十年來的大量努力，ESD 仍然影響產品良率、製造成本、產品質量，產 品可靠度和獲利率。光器件本身的損害，成本可從幾美分的簡單二極體到數千美元複雜的 積體電路等。如再考量維修和重工、運輸、勞力和相關開銷等成本，很明顯地，這個問題 有著極大的改善空間。今天幾乎所有電子製造企業，約數千家，均開始關注於業界所能接 受的基本靜電控制因素。ESDA 已設定各種靜電防護標準，來引導廠商建立基礎靜電消解 和控制技術（見第六部分 - ESD 標準）。任何忽略靜電控制的企業，將不可能有機會成 功製造和運送完全無損的電子零件產品。 靜電：創造電荷 靜電放電（ESD ）相關名詞定義可參考ESD ADV 1.0 Glossary （靜電放電協會專有名 詞表） ，亦可自www.ESDA.org 網站免費下載。靜電荷 之定義為「處於靜止狀態的電荷 」。靜電是材料內部或表面的一種電荷不平衡狀態。這種電子不平衡狀態會形成電場，這 種電場可被測出，同時它也會影響其它物體。靜電放電定義為「高靜電場引起靜電荷快速 、自發地轉移。注意：一般情況下，不同電位之兩個物體彼此接近時，電荷即由兩者間的 火花通過。」 靜電放電可以改變半導體設備的電氣特性，減損或破壞它的效能。靜電放電也可能會 影響電子系統的正常運轉，造成設備故障或失靈。帶電物體的表面會吸附並留置污染物， [ 1 ] 使清除微粒子的工作變得困難。空氣中的微粒一旦被吸附至矽晶片或器件的集成電路表面 ，將引起程度不一的晶片受損情形，進而導致產品良率降低。 為能夠控制靜電放電，應先了解靜電荷一開始是如何產生的。最常見的情況是，兩種 材料接觸後再分離，即產生靜電。這兩種材料可以是完全相同或不儘相同的，而不同材料 通常會釋放更高層次的靜電。例如，走路時，鞋底與地板的接觸與分離便會產生靜電。將 電子器件放入或抽出自提袋、卡匣或管子等，都會產生靜電，因其外殼和金屬引線與容器 表面已有多次接觸和分離。這些例子中，儘管靜電荷量大小不一，靜電確已形成。 摩擦生電 材料接觸 材料甲 材料乙 淨值 淨值 圖1 摩擦生電－材料緊貼 Figure 1 The Triboelectric Char