电容传感器〔传感器原理与应用〕.docVIP

第三章 电容式传感器 电容测量技术近几年来有了很大进展，它不但广泛用于位移、振动、角度、加速度等机械量的精密测量，而且，还逐步扩大应用于压力、差压、液面、料面、成分含量等方面的测量。由于电容式传感器具有一系列突出的优点：如结构简单，体积小，分辨率高，可非接触测量等。这些优点，随着电子技术的迅速发展，特别是集成电路的出现，将得到进一步的体现。而它存在的分布电容、非线性等缺点又将不断地得到克服，因此电容式传感器在非电测量和自动检测中得到了广泛的应用。 第一节 电容式传感器的工作原理和结构 一、基本工作原理 电容式传感器是一种具有可变参数的电容器。多数场合下，电容是由两个金属平行板组成并且以空气为介质，如图3—1所示。 由两个平行板组成的电容器的电容量为 （3—1） 式中——电容极板介质的介电常数。 ——两平行板所覆盖面积； ——两平行板之间的距离； ——电容量 当被测参数使得式(3—1)中的、和发生变化时，电容量也随之变化。如果保持其中两个参数不变而仅改变另一个参数，就可把该参数的变化转换为电容量的变化。因此。电容量变化的大小与被测参数的大小成比例。在实际使用中，电容式传感器常以改变平行板间距来进行测量，因为这样获得的测量灵敏度高于改变其他参数的电容传感器的灵敏度。 改变平行板间距的传感器可以测量微米数量级的位移，而改变面积的传感器只适用于测量厘米数量级的位移。