微波电子线路第2章2.pptVIP

第二讲：肖特基势垒二极管的构造原理及特性 微波混频器是任何种类微波接收机的最主要部件之一。不仅因为它是必不可少的，更主要原因是它处于整个接收机的前端位置、其性能好坏，对整个系统影响极大。其基本作用是把微波频率信号变换成中频信号。要求其失真小、损耗小、噪声低、灵敏度高。目前，混频器中的非线性元件主要是肖特基势垒二极管。混频器性能由管子性能和电路设计，工艺水平共同决定。本讲将介绍混频器的核心器件—肖特基势垒二极管。 一、肖特基势垒二极管的组成及工作原理 1、 构造：以重掺杂（ ）的 为衬底、厚度为几十 ，外延生长零点几 厚的N型本征半导 肖特基势垒二极管的构造原理及特性 体作为工作层，在其上面再形成零点几 的二氧化硅绝缘层，光刻并腐蚀直径为零点几或几十 的小洞，再用金属点接触压接一根金属丝或在面接触中淀积一层金属和N 型半导体形成金属半导体结，在该点上镀金形成正极，给另一面 层镀金形成负极，即可完成管芯。 肖特基势垒二极管有两种管芯结构：点接触型和面结合型，如图2-1所示。点接触型管芯用一根金属丝压接在N型半导体外延层表面上形成金半接触。面结合型管芯先要在N型半导体外延层表面上生成二氧化硅(SiO2)保护层，再用光刻的办法腐蚀出一个小孔，暴露出N型半导体外延层表面，淀积一层金属膜(一