电铸技术发展及研究的主要方向.pdfVIP

电 铸 技 术 发 展 及 研 究 的 主 要 方 向 口 张康智 口 陈万强 口 李祥阳 口 王 芳 西安航空学院 西安 710077 摘 要：简述 了电铸的基本原理及优 点．并介绍 了目前电铸技术的主要研 究内容及关键技术 。 关键词：电铸 微电铸 喷射式 电铸 快速成型 电铸纳米 晶体 中图分类号：TG66 文献标识码：A 文章编号：1000—4998(2014)02—0080-03 电铸 就是 将 非 金 属铸 模 (光刻 胶 、塑料 等 )用 电沉 1 电铸技术的优缺点 积 的方 法对 其填 充各 种金 属 ，然后 将金 属剥 离 ，从 而得 到 与非 金属 结构 一致 的金 属微 结 构 的工艺 方法 。美 国 (1)尺 寸精度 高 。芯模 加工 成所 需 的尺寸 精度 后 ， 电镀 和表 面精 饰 学会 (AESF)对 电铸 的定 义 是 “通 过在 电铸 可 以精确 地加 以复制 ，可 以得 到 尺寸 几乎 完全 相 最终 将 与镀 层分 离 的基体 或 者模 具上 进行 电镀 ．从而 同的复制 品 ，因此 适于 生产 精度 要求 很高 的工 件 。 进行 工 件复 制 生产 的一 种工 艺”。电铸技 术诞 生后 的一 (2)芯 模 表面 的精 确 复制 。 电铸 工艺 能实 现极 高 百 多年 间 ．这 种精 密成 型能 力突 出 的工艺 主 要用 于 常 精 度 的表 面 细节 复 制 ，复制 水 平 可 以达 到 0．0l m，具 规 尺 寸形状 复 杂工 件 的模 型复制 以及 工件 表 面形 貌精 有 高度 的逼 真性 ，这是 其 它生产 工 艺难 以媲 美 的 。 确 复 制 ，人 们致 力 于解 决 镀层 太厚 (相 对 于一 般 电镀 而 (3)可 以生产 复 杂形 状器 件 。可 以将 难 以加 工 的 言 )所 造成 的 内应力 困难 等 相关 工艺 技术 问题 ．使 其 在 内型 面加工 转化 为外 型 面加工 ，例如 特殊 型 面 的波 导 印刷 制 版 、光 盘模 版 制 作 、精 密 工件 复 制 、大 型_22件 修 管 、气 切割 嘴 、薄壁 回转件 的加 工 。 复等 方面 得到 推广 应用 。 (4)可 以调 节沉 积层 的物理 性 质 。可 以通过 改 变 电铸 技术 的基 本原 理 如 图 1所 示 ，电铸 过程 中 。阳 电铸条 件 、铸液 成分 等方 法来 调节 金 属 电铸 层 的硬 度 、 极 金 属 在 电压 作 用 下 “溶解 ”(被 氧 化 )成 为 阳离 子 ，进 韧 性 和拉 伸强 度等 机械 力学 性能 。 入 溶 液 。溶解 的金 属离 子 通过 电铸 液 中的运 动 到达 阴 (5)加 工尺 寸范 围大 。 电铸 加 工 的尺 寸 范 围一 般 极 发 生还 原反 应 生成金 属 原子 ，在 阴极表 面 沉积 。 只受 电铸设 备 的 限制 ，产 品的尺 寸 可 以从 微 观 的毫 微 米级 到宏 观 的大器 件 。 (6)便 于批量 生 产 。在 一个 电铸 工序 中 ，可 以同时 加工 模具 上 的多种 孑L洞 ．减 少 了模 具制 作 的循 环 周期 。 芯模 和 电铸液 均 可 以重复使 用 。因此器 件 加 工 时具 有