SnO2基薄膜气体传感器制作与敏感性测试.pdfVIP

SnO2基薄膜气体传感器制作与敏感性测试 口 竺志大 口 王昌龙 扬州大学 机械工程学院 江苏扬州 225009 摘 要：在现有的粉末烧结型SnO：基气体传感器基础上研制了薄膜型SnOz基气体传感器，以抛光的耐热石英玻璃为 基片，真空磁控溅射5O一70nm厚度的SnO薄膜，在$nOz薄膜上分别溅射不连续的ZnO、AI2O“CeO。、InO2等薄膜，传感器背 面溅射30 m的Ni80Cr20电阻合金作为传感器加热电阻，用薄膜热电偶测量传感器工作温度。测试了不同的复合膜对传 感器灵敏度和选择性的影响，并对传感器的吸附与解吸速度进行了测试，薄膜传感器达到相 同灵敏度所需的工作温度比 粉末烧结型传感器下降100—150℃，吸附解吸速度 比粉末烧结型快。 关键词：薄膜气体传感器 SnOz烧结型气体传感器 真空磁控溅射 传感器灵敏度 中图分类号：TN305．92 文献标识码：A 文章编号：1000—4998(2008)12—0051—04 1 气体传感器研制现状 目前市场上销售 的气体传感器 ，95％ 以上属于金 属氧化物气体传感器 ，这其 中 SnO基气体传感器 占绝 大部分 。其它种类 的气体传感器数量极少 ，主要是其它 种类 的气体传感器制造相对 困难 ，性 能不够稳定 ，与传 统检测 电路接 口有一定难度n··。 sno：基气体传感器 电路简单 ，使用方便 ，但工作温 度 高、功 耗大 、选 择性 不 强 。目前 市场 上 销售 的 Sn02基 上 分 别镀 不 连 续 的 ZnO、A12O3、MgO、ZrO、CeO2、InO2、 气体传感器 多为粉末烧结型气体传感器 ，结构见 图1t。 TiO：等材料 。然后 在每段敏感薄膜两端覆盖镀一 圈镍 铬合金作为 电极基础 ，最后将 箔状 引线包裹在 电极镀 层 上 引 出 。在 背 面 溅 射 30 m 厚 度 的 电 阻 合 金 Ni80Cr20作为传感器加热 电阻 ，中部镀小块康铜合金 ， 并用康铜线 引出。形成镍铬 __康铜薄膜 热 电偶用于检 测传感器工作温度 (分度号非标准 ，自行标定 )。 3 薄膜气体传感器工作原理探讨 与传 统 的用细 电阻丝加热 的气体传感器相 比，薄 膜状 电热元件 能承受相 当大 的加热负荷 ，而不会发生 2 薄膜气体传感器制作 加热丝 断裂等故 障。 我们采用真空磁控溅射成膜技术 ，制作集成化 的 试验制作 了多层 复合 氧化物膜气体传感器 ，主要 SnO基 纳米 薄膜 传 感 器 ，利 用 纳米 尺 度薄膜 电性 能与 是 在 SnO膜 层基 础 上再 溅 射 一层 不 连 续 的 CeO：、 常规尺寸材料 电导效应 的差异 ，降低传感器工作温度 。 FeO，、TiO：或 InO：薄层 ，用石英 晶体谐振式膜 厚测量仪 另外还通过 多种 复合膜方法提高对不 同气体 的选择 测量镀膜 厚度 。保证第二层膜 厚不超过 15nm(否则成 性 ，试验 表 明采用适 当的复合膜后 工作 温度可下 降 为连续膜 )，利用不 同成分 的不连续孤 岛状 复合膜 ，提 100—150℃ 。图2为本课 题组研制 的 SnO：基纳米薄膜 高选择性能。 传感器结构 。 虽 然 SnO基 薄膜气体传感器敏感原理也属于表 采用耐热石英玻璃 (K9)镜面抛光后