多晶硅还原工段余热回收.pdfVIP

第38卷，第6期 安 徽 化 工 V01．38．No．6 2012年 12月 ANHUICHEMICAL INDUSTRY Dec．2012 多晶硅还原工段余热回收 彭灯平 (东华科技有限责任公司，安徽 合肥 230009) 摘要：多晶硅还原工段占多晶硅成本 18％一25％，对还原系统的能量消耗进行分析，进行余热回收，为多晶硅生产工厂和多晶硅工艺设计 提供参考。 关键词：多晶硅；还原系统；能耗；余热回收 doi：10．3969~．issn．1008—553X．2012．06．015 中图分类号：O613．72 文献标识码：B 文章编号：1008—553X(2012)06—0047—02 目前，太阳能级多晶硅制备的生产方法有改 良西门 由某还原炉生产厂家提供的36对棒还原炉夹套承 子法、硅烷法、流化床及物理法等，其主流技术为改良西 压是0．6MPa。为了使水不能汽化，一定要低于 160oC，所 门子技术。改 良西门子法涉及到的一些关键步骤和工艺 以一般取 150~C。 技术，比如尾气和废料的循环利用、降低能耗等技术国 炉筒夹套水压力0．6MPa，温度 150~2，在此处设置 内却被全面封锁，所以只能靠国内企业 自己摸索研究。 闪蒸槽可以回收热量 ，但为了蒸汽输送，闪蒸出的压力 我国多晶硅生产系统的工艺技术落后，耗能大，成本高。 需要在0．35MPa以上，这部分回收的蒸汽可以供给精馏 提高多晶硅产量 ，降低能耗主要还得在还原系统上做文 使用，冷凝水又返回系统。 章，对其进行有效能耗分析。 36对棒还原炉夹套水量为 130t／h，可以回收0．35MPa 还原炉系统包括炉筒冷却水系统 、底盘冷却水系 (A)的饱和蒸汽为 2．9t／h。 统、电极冷却水系统、调功柜冷却水系统、进料系统及出 2底盘冷却水系统 料系统。下面就这些系统分别就其余热回收进行分析。 现在大部分还原炉厂家把此部分单独设计，温度设 1炉简冷却水系统 计最高90~C，无法回收此部分热量 ，还需要大量的循环 三氯氢硅氢还原反应温度为 1050～1150~2，采用水 水进行冷却。但由上面的公式可知，降低还原电耗，就必 冷却还原炉夹套 ，根据辐射传热原理，要降低硅棒表面 须提高还原炉内壁温度，降低温差值 ，所以可用炉筒水 的热损失，主要应提高还原炉内壁温度。硅棒与炉内壁 进行冷却，回收这部分能量。 之间热量传递以辐射的方式进行。根据斯蒂芬 一波尔茨 某还原炉生产厂家提供36对棒底盘水量为60t／h， 曼(Stefan—Bohzmann)定律得要两固体间的辐射传热公 可以回收0．35MPa(A)的饱和蒸汽为 1．34t／h。 式为： 3电极冷却水及调功柜冷却水系统 Q1-2=C1_2￡ [(T1／lOO)一(TJ100)4] 这部分需要考虑电气因素，一般控制在4O℃左右， 式中：Q之一单位面积物料辐射热； 可能更高一点，但控制进 口温度需要考虑是否有露析现 ￡一相当黑度； 象 ，此部分能量无法回收。 c之一绝对黑体的辐射系统； 4进料系统 T、T一高温和低温表面的热力学温度。 三氯氢硅汽化方式有三种，分别是鼓泡式、列管式 上式表明，要减少热辐射损失，降低还原电耗，就必 和Liebig管式汽化。鼓泡式是利用氢气在三氯氢硅液相 须提高还原炉内壁温度，降低温差值，所以在还原炉夹套 中鼓泡，同时外部热源供热，使三氯氢硅汽化，通过氢气 使用水冷却时，应保证在夹套工作压力下