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半導體製程暨量測實驗室管理辦法 九十二年十一月二十五日微電子工程系系務會議制定通過 一、本系學生於正課外之時間須借用實驗室者，需確實在實驗室使用記錄表上簽名。 二、進入實驗室請脫鞋，並將鞋子放置在教室外並且擺放整齊。 三、禁止攜帶食物、飲料進入實驗室。 四、使用儀器前應詳閱操作手冊，熟悉正確的操作程序、緊急關機步驟並了解可能發生的危險。儀器應定期維護保養以減少故障及危險的發生。 五、儀器設備購置不易，請愛惜使用。若因個人粗心大意而損壞，則需負責善後及賠償。 六、離開實驗室時請將周圍整理乾淨。 七、實驗室的安全是每個人的共同責任，須大家同心協力來維護。 國立高雄海洋科技大學微電子工程系 儀器設備暨對外服務收費標準一覽表 項次 精密所儀器名稱 服務細項 收費標準（現金） 學校單位 研究單位 營利事業單位 1 晶片coating光阻、光阻去除、顯影、定影、HMDS coating、光罩對準(2.5~5)、晶片(4)紫外光曝光 900元/片 1500元/片 1800元/片 2 氧化擴散退火系統 Wet-Oxide 1200元/時 1600元/時 2000元/時 1000元/時 1350元/時 2500元/時 3 開機費 3500元 4500元 6000元 材料費 (不含貴重金屬) 另計，貴重金屬自備 另計，貴重金屬自備 另計，貴重金屬自備 4 開機費 500 700 800 每片二點內 200 300 400 每超過一點加 100 150 200 　 　 　 　 　 5 開機費 500 700 800 每元件二點內 200 200 200 每超過一點加 100 100 100 6 59 C-V量測儀 開機費 500 700 800 每元件二點內 200 200 200 每超過一點加 100 100 100 　 7 開機費 3500元 4500元 6000元 材料費 (不含貴重金屬) 另計，貴重金屬自備 另計，貴重金屬自備 另計，貴重金屬自備 8 每片 500 9 wet bench 300/小時 ? 10 雕刻機 每片 500/cm2 備註 2.實驗室無經費補助，請現金付費，另光阻請自備。