基于单片机的磁控溅射稳压开关电源设计.pdfVIP

· 106 · 工业仪表与自动化装置 2014年第 1期 基于单片机的磁控溅射稳压开关电源设计 周志文，马安仁 (西北民族大学 电气工程学院，兰州730124) 摘要：磁控溅射真空镀膜技术与传统的化学电镀技术相比，具有环保、降耗、减排等优点，磁控 电源是这种镀膜装置的关键部件之一。该文研究和设计 了以高频开关电源技术为基础的高效率、 大功率磁控稳压电源。文中介绍了主电路、控制电路的原理设计，用Matlab仿真软件搭建了电路 模型，并进行了仿真实验，在此基础上完成了硬件 电路、软件程序设计。通过AT89C51单片机实现 了在不同工作方式下电源输出电压和电流的调节。实际应用证明该电源具有恒流控制效果好，可 靠性高，工作稳定等优点。 关键词：磁控溅射 ；开关电源；镀膜 ；SG3525 中图分类号：TP273；TB43 文献标志码 ：A 文章编号：1000—0682(2014)0l一0106—03