电子背散射衍射(EBSD)简介-2007.ppt

电子背散射衍射(EBSD)方法在地质学上的应用 徐海军 地球科学学院 * 什么是电子背散射衍射（EBSD）? Electron BacksScatter Diffraction 电子背散射衍射（EBSD）系统通常安装在扫描电镜（SEM）上，是利用不同晶体结构或方位的电子背散射衍射花样（EBSP）来测量晶体或矿物取向的显微构造分析技术。它也称为背散射菊池衍射（backscattered Kikuchi diffraction，BKD）和电子背散射花样（electron backscatter diffraction pattern，EBSP）。商业上强调其取向成图功能，其名称有显微取向成图（orientation imaging microscopy，OIMTM）、晶体取向成图（crystal orientation mapping，COM）和自动晶体取向成图（automated crystal orientation mapping, ACOM）。 . 内 容 理论基础 仪器组成和测试流程 EBSD的主要功能简介 EBSD方法在地质学上的应用 EBSD与其它方法的比较 本实验室的前期工作 构造地质学应用EBSD的实例 一、理论基础 1. 电子背散射衍射花样（EBSP） 块状样品上产生的电子背散射衍射花样（electron backscatter diffraction pattern，EBSP）与薄膜（thin foils）在透射电镜（TEM）中形成的菊池衍射花样（Kikuchi diffraction patterns）有很多相似点，都是建立在高能电子束轰击样品时产生的一系列复杂的反应基础上。 EBSP 的产生过程 2. 取向衬度图（orientation contrast image，简称OCI，或者OC图像） 二、仪器组成和测试流程 EBSD仪器系统的组成 EBSD仪器系统的基本组成包括一台扫描电镜和一套电子背散射衍射仪。扫描电镜是EBSD的寄主仪器，为其提供样品室和高能电子束，并与EBSD一起实现对样品台和电子束以及图像采集的控制功能。EBSD分为硬件和软件两大部分：硬件系统通常包括一台高灵敏度的CCD相机和一套用来进行电子背散射衍射花样平均化和背景校正的图像处理系统；软件系统则主要用于控制EBSD图像的采集和数据分析。此外，还涉及到仪器的辅助设备，包括扫描电镜和电子背散射衍射仪的附件、样品磨片机和抛光机、离子溅射仪、超声波清洗器和电解抛光仪等。 仪器型号和性能参数 生产厂家：丹麦HKL技术有限公司 仪器型号：Nordlys-Ⅱ Channel 5.0 System 性能参数（20 kV，1nA）： 支持11种劳厄群和230种空间群 ? 空间分辨率：0.5μm ? 角度分辨率：0.5° ? 花样分辨率：1344×1024像素 ? 快速分析：80,000 数据点 / 小时 实验样品及要求 样品材料 岩石薄片（光片），金属，合金，陶瓷，半导体，等。 样品大小（以岩石薄片为例） 厚度≤10mm，长度≤25mm，宽度≤15mm。 样品处理 定向 抛光（机械抛光，最后一步需要采用硅胶悬 浮液高度抛光；电解抛光；离子蚀刻；化学蚀刻。） 喷碳（不导电样品） 其它相关信息 样品变形程度 ? 样品中的主要矿物组成及其颗粒度 ? 测量矿物的电子探针数据及其分析结果 ? 测量矿物的晶体对称性、空间群、晶胞参数（a, b, c α, β, γ）和原子位置（这些数据可以从矿物数据库中获取） 三、EBSD的主要功能简介 1. 取向衬度图（OCI） Orientation Contrast Imaging 3. 面扫描（Mapping） 四、EBSD在地质学上的应用举例 EBSD在地质研究中的应用范围 未知矿物相的鉴定（phase identification） 变形机制（deformation mechanism） 确定位错滑移系（dislocation slip systems） 显微构造定量研究（quantification of microstructures） 变质过程研究（metamorphic process） 岩浆作用过程（magmatic process） 约束化学微量取样（geochemical micro-sampling） 等等…… 1. Fe-Ti氧化物的鉴定 2. 超高压榴辉岩石榴石合晶体的取向分析 5. 下地壳剪切带超细粒石英糜棱岩的EBSD研究 6. 石榴石塑性变形和重结晶机制研究 7. 约束地球化学的微区分析结果 五、EBSD与其它方法的比较 显微构造的主要研究方法 光学显微镜，弗氏台（U-sta