硅氢氯化法生产三氯氢硅清洁生产评价指标体系.pdfVIP

化 工 环 保 · 426 · ENVIR0NMENTALPR0TECT10N0FCHEMICALINDUSTRY 2013年第 33卷第 5期 硅氢氯化法生产三氯氢硅清洁生产评价指标体系 马红娜，武 征 ，孙 愿，刘玉龙 (中国地质调查局 西安地质调查中心，陕西 西安 710054) [摘要]以国内先进企业的数据为基准值，采用层次分析法建立了由定量和定性两部分评价指标构成的硅氢氯化 法生产三氯氢硅清洁生产评价指标体系，确定了评价指标体系准则层 、指标层各定量指标权重值及定性指标分 值 ，介绍了定量评价指标和定性评价指标的考核评分计算方法和综合评价指数的计算方法。应用该评价指标体 系，对某 氯氢硅生产企业进行了实例评价，结果表明该评价指标体系能较好的反映=_氯氢硅企业的清洁生产 水平 。 [关键词]j氯氢硅；硅氢氯化法；清洁生产；层次分析法 ；评价指标体系；基准值；权重值 [中图分类号jX38 [文献标志码 ]A [文章编号]1006—1878(2013)05—0426～05 EvaluationIndexSystem forTrichl0r0silaneCleanerProductionfrom SiliconandHydrogenChloride MaHongna，WuZheng，Sun Yuan，LiuYulong (xi’anGeologySurveyCenter,ChinaGeologicalSurveyBureau，Xi’anShaanxi710054，China) Abstract：Basedonthedatafrom theadvancedenterprisesinChina，theevaluationindexsystem for cleanerproductionoftrichlorosilanefrom siliconandhydrogenchlorideisfoundedbyanalytichierarchy process，which iscomposedoftwopartsofquantitativeandqualitativeevaluation indexes．Theweight valuesofquantitativeindexesandthescoresofqualitativeindexesoftherulelayersandindexlayersin theevaluationindexsystem aredetermined．Andthecomputingmethodsforexaminingandgradingofthe quantitativeandqualitativeevaluationindexesandofrthecomprehensiveassessmentindexesareintroduced． A trichlorosilaneproductionenterprisewasevaluatedasanexampleusingthisevaluatiom indexsystem． Theresultsshow thattheevaluationindexsystem canwellreflectthelevelofcleanerproductionofthe trichlorosilaneentepr rise． Keywords： trichlorosilane；silicon—hydrogenchlorinationprocess；cleanerproduction；analytic hierarchyprocess；evaluationindexsystem ；referencevalue；weightvalue 清洁生产是我 国工业可持续发展的重要战 产业化生产。三氯氢硅生产过程中涉及到氯气、氯 略，主要通过采用先进的生产工艺、提高资源能源 化氢、三氯氢硅等有毒有害物质，且生产工艺流程 利用率、减少污染物产生量、废物回收利用等途径